http://ir-heat-element.com/ja/tags/%E7%84%BC%E3%81%8F/ Recent content in 焼く on Reliable IR Heating Elements Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 09:43:51 +0800 http://ir-heat-element.com/ja/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 09:43:51 +0800 http://ir-heat-element.com/ja/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="制御雰囲気焼成ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、ベイク<a href="https://henruite.com">処理</a>は単なる一時停止ではなく、プロセス上の重要な段階です。もしソフトベイクの温度が不安定になると、線幅の制御に<a href="https://o-yate.net">影響</a>が出ます。また、ハードベイクが均一でない場合、スカムや不純物が発生します。熱的な<a href="https://o-yate.com">条件</a>が厳しい場合、ベイク用ランプは日々、ウェーハ全体にわたって微小な精度で安定した温度を維持しなければなりません。そうすれば、粒子の混入や変動も防げます。</p> <h2 id="赤外線を利用した高精度な温度制御">赤外線を利用した高精度な温度制御</h2> <p>私たちは、迅速に反応し、直接的に温度を制御できる短波長赤外線（NIR）を利用して、制御された雰囲気下でのベイク用ランプを開発しました。これにより、サブミリメートル単位の精度で温度を制御でき、ベイク領域全体での均一性が保たれます。実際には、フォトレジストに対して再現性のあるエネルギー供給が可能になります。</p>