http://ir-heat-element.com/ja/tags/%E5%85%89%E5%AD%A6/ Recent content in 光学 on Reliable IR Heating Elements Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 10:20:05 +0800 http://ir-heat-element.com/ja/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 10:20:05 +0800 http://ir-heat-element.com/ja/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="光学ウェーハ処理ヒーター"></p> <p>ファブフロア上では、300mmウェーハがフォトレジストプロファイルを固定するためのソフトベイクを待っている。ホットスポットが一か所、コールドゾーンが一か所あれば、ライン幅制御は失われる。ラインは停止する。この事態を未然に防ぐために、我々はこの光学式ウェーハ処理用ヒーターを開発した。</p>