http://ir-heat-element.com/ja/tags/%E3%82%B5%E3%83%9D%E3%83%BC%E3%83%88/ Recent content in サポート on Reliable IR Heating Elements Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 01:08:33 +0800 http://ir-heat-element.com/ja/posts/molybdenum-support-infrared-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 01:08:33 +0800 http://ir-heat-element.com/ja/posts/molybdenum-support-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="モリブデン支持型赤外線ランプ"></p> <p>ファブの現場では、フォトレジストのソフトベイク時に2℃もの温度変動が起きると、<a href="https://goldisgood.com">何週間</a>もかけて行ってきた品質向上の努力が水の泡になってしまいます。リソグラフィーにおける温度変動も同様です。ウェーハの乾燥過程での不均一性も問題です。加熱素子は、機械の処理プロセスに合わせて動作しなければなりません。</p> <p><strong>重要なのは内部構造です</strong><br> 私たちは、高放射率を持つフィラメントと、安定した形状を保つ反射器を組み合わせて、モリブデン製のサポートを用いた赤外線ランプを開発しました。その結果、ウェーハ全体での温度制御が可能となり、通常はホットゾーン全体で±0.1℃の精度が得られます。モリブデン製のサポートは繰り返される熱サイクルにも耐えられ、また、ランプのケースはクラス1からクラス100のクリーンルーム環境にも適しています。出力も安定しており、5,000時間以上使用しても強度の変化は5％未満です。</p>