Mantenere tutto al sicuro: lampade a infrarossi rivestite d’oro per la pulizia chimica Siamo onesti: utilizzare lampade a infrarossi direttamente...

Mantenere una sala pulita di classe 100 effettivamente pulita (anche quando si aumenta la temperatura) Quando si lavora in un ambiente di classe 100,...

Smettete di sprecare calore: perché le lampade a infrarossi con rivestimento d’oro funzionano davvero bene Nelle fabbriche di produzione dei wafer,...

Come eliminare i punti di rallentamento: IR contro aria calda per la essiccazione delle wafer Se avete trascorso del tempo in uno stabilimento per...

Impedite che le lampade si distruggano e rovinino i vostri wafer In un ambiente di lavoro ad alta carica, il guasto di una lampada non è...

Smettete di sprecare calore: un modo migliore per gestire le wafer semiconduttrici Se cercate di gestire una fabbrica a emissioni zero, probabilmente...

Riscaldamento a infrarossi contro aria calda: un metodo migliore per costruire biosensori Quando si realizzano biosensori, le fasi di essiccazione e...

Come far funzionare al massimo le lampade di riscaldamento nelle fabbriche di semiconduttori Se vi occupate di lavorazione di wafer o di processi...

Introduzione Abbiamo creato questa lampada a infrarossi in fibra di carbonio per un motivo semplice: far sì che il calore venga distribuito...

Nella fase di litografia, la fase di cottura non è semplicemente una pausa nel processo: rappresenta piuttosto un punto di separazione fondamentale...

Nel processo di litografia, si sa com’è: anche un leggero cambiamento nella temperatura, di appena mezzo grado, può influire negativamente sulla...

Nelle linee di produzione, si sa bene quanto velocemente una variazione di temperatura di 2°C durante il processo di essiccazione del fotoresist...

Sulla fabbrica, sai come funziona: una deriva di mezzo grado nella cottura soft modifica il profilo del fotoresist e quella modifica influisce sulle...

Sulla fabbrica In fabbrica, la cottura del photoresist non è opzionale: è la specifica. Un’oscillazione di 1°C nella cottura morbida o dura, e...

Sulla linea, il wafer da 300 mm attende la cottura. Se la soft bake devia di 0,3°C, si osservano spostamenti del CD, disallineamenti di overlay e...