Lampada per il trattamento termico rapido (RTP)
Sulla fabbrica, sai come funziona: una deriva di mezzo grado nella cottura soft modifica il profilo del fotoresist e quella modifica influisce sulle...
Riscaldatore per la lavorazione ottica dei wafer
Out on the fab floor, un wafer da 300mm è posizionato, in attesa della soft bake per fissare il profilo del photoresist. Un punto caldo, una zona...