Come ottenere la giusta temperatura del wafer (senza sprecare energia)
In una sala pulita, se la temperatura del wafer diminuisce durante il trasporto, si creano problemi seri per quanto riguarda la qualità del prodotto finale. Ecco perché utilizziamo riscaldatori montati su carrelli. Ma il vero problema è: non si tratta tanto di quanto calore si possa generare, quanto piuttosto di assicurarsi che il calore arrivi effettivamente al wafer, e non solo riscaldi il telaio metallico.
Perché scegliamo l’oro
La maggior parte delle persone inizia utilizzando riflettori in alluminio, ma questi assorbono troppa energia infrarossa. Noi preferiamo rivestimenti in oro ad alta purezza: essi riflettono oltre il 98% di tale radiazione.
Si può pensare a questi rivestimenti come a specchi per il calore: invece di far dissipare l’energia ovunque, l’oro la dirige in una sola direzione. In pratica, questo trasforma il riscaldatore in un fascio di calore concentrato, garantendo che ogni singolo watt venga utilizzato efficacemente, e non disperso nella stanza.
Velocità e problema dei “punti caldi”
Utilizziamo lampade ad alta potenza a onde corte, poiché permettono di raggiungere rapidamente la temperatura desiderata. Questo è esattamente ciò di cui abbiamo bisogno.
Tuttavia, c’è un problema: se il rivestimento in oro non è perfettamente uniforme, si creano dei “punti caldi” sul wafer. Ecco perché prestiamo molta attenzione al processo di deposizione del rivestimento. È necessario che il rivestimento sia perfettamente uniforme, in modo da mantenere una temperatura costante su tutto il diametro del wafer.
Il compromesso: bisogna fare attenzione
L’oro è ottimo per concentrare il calore, ma è anche molto delicato. Non si possono utilizzare detergenti abrasivi per pulire queste superfici: anche un semplice graffio o l’accumulo di sostanze chimiche possono ridurre la loro capacità riflettente. In tal caso, le lampade devono lavorare il doppio per mantenere la temperatura desiderata, e i filamenti si bruciano molto più velocemente.
Un ultimo consiglio: controllate sempre i regolatori PID. Poiché l’oro fa sì che il sistema reagisca molto più rapidamente rispetto a un riscaldatore normale, la temperatura può aumentare rapidamente. È quindi importante regolare correttamente i parametri di controllo, altrimenti si rischia di danneggiare i wafer.