Durante il processo di essiccazione, la qualità del prodotto ne risente quando il controllo termico non è corretto. I lavaggi puliti lasciano dietro di sé delle micro-gocce d’acqua; queste goccioline rappresentano, in pratica, una fonte di difetti. I dispositivi utilizzati per la cottura del photoresist possono indicare sulla pantalla la temperatura desiderata, ma nell’insieme del lotto si verifica comunque una variazione nella temperatura, che si manifesta in una maggiore larghezza dei bordi del prodotto e in la presenza di impurità. La soluzione non è semplicemente aumentare la temperatura, ma piuttosto utilizzare una temperatura controllata con precisione.
Cosa è davvero importante
Abbiamo progettato il secchiatore a luce NIR utilizzando emettitori a lunghezza d’onda corta, adatti all’assorbimento del silicio; in questo modo l’energia viene trasmessa senza danneggiare la superficie del materiale. La risposta del sistema avviene in tempi inferiori a un secondo, e l’uniformità della temperatura su tutta la superficie del wafer è di ±0,1°C. La camera in cui avviene il processo è compatibile con ambienti di tipo Class 1–100, caratterizzati da materiali a bassa emissione di gas e da flussi d’aria laminari che riducono al minimo la formazione di particelle. La ripetibilità dei risultati è garantita grazie a sensori calibrati e a un sistema di controllo a ciclo chiuso; così, ogni fase del processo avviene sempre nella stessa condizione termica.
Perché funziona bene nei processi reali
Nella litografia, il secchiatore a luce NIR permette di raggiungere le temperature necessarie per la cottura del photoresist, riducendo i tempi di lavorazione e mantenendo uniforme la dimensione dei caratteri stampati. Nelle fasi di pulizia ed essiccazione, elimina completamente le ultime tracce di umidità senza lasciare segni, il che significa meno riwork e meno rifiuti. Nell’imballaggio, permette processe rapidi e stabili, riducendo i tempi di produzione. L’uso energetico diminuisce, poiché il calore viene fornito solo quando necessario, anziché essere trattenuto in una massa termica. La affidabilità del dispositivo è dimostrata in campo: i dispositivi funzionano 24/7 senza interruzioni, e gli intervalli di manutenzione possono arrivare a migliaia di ore.
I dettagli pratici
Il secchiatore a luce NIR può essere integrato in sistemi esistenti o utilizzato come strumento indipendente; tuttavia, è necessario mantenere pulito e allineato il percorso ottico. È importante assicurarsi che ci sia sufficiente spazio intorno alla finestra dell’emettitore, e che lo spettro emesso dall’emettitore sia compatibile con quello del photoresist – alcuni polimeri infatti assorbono la luce NIR in modo diverso. È necessario effettuare piccoli regolamenti quando si cambiano i tipi di photoresist utilizzati, e documentare i nuovi valori di regolazione. Una volta che tutto è allineato, il processo rimane sotto controllo.