Mengeringkan Wafer MEMS dengan Panas Radiatif yang Tepat
Mengeringkan wafer sensor MEMS merupakan proses yang membutuhkan kehati-hatian. Diperlukan panas yang cukup untuk menghilangkan kelembapan, tetapi jika terlalu banyak panas digunakan, maka struktur mikroskopis yang ada di dalam wafer tersebut akan rusak.
Itulah mengapa kita menggunakan reflektor berlapis emas. Meskipun kedengarannya rumit, tujuannya sangat sederhana: memastikan bahwa panas inframerah benar-benar sampai ke wafer, bukan hanya memanaskan bagian dalam mesin saja.
Mengapa emas?
Kebanyakan orang menggunakan reflektor berbahan aluminium, tetapi ada masalahnya. Aluminium menyerap dan menyebarkan energi panas secara berlebihan. Hal ini jelas merupakan pemborosan energi.
Kita beralih ke reflektor berlapis emas yang berkualitas tinggi, karena emas lebih efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Dengan demikian, panas tidak akan hilang begitu saja ke bagian lain dari mesin, melainkan langsung kembali ke wafer. Hasilnya? Wafer mendapatkan lebih banyak panas tanpa perlu meningkatkan daya yang digunakan.
Mendapatkan daya yang maksimal dalam ruang kecil
Saat memilih pemanas jenis ini, yang penting adalah densitas energinya. Anda ingin mendapatkan banyak daya dalam ruang yang kecil. Dengan memfokuskan radiasi panas, kita dapat mencapai suhu pengeringan yang diinginkan dengan menggunakan daya yang lebih sedikit. Ini berarti proses pengeringan berlangsung lebih cepat, dan waktu yang diperlukan per wafer pun berkurang.
Kelemahan metode ini
Namun, ada kelemahannya. Saat panas difokuskan secara intens, elektroda lampu dan bagian penutupnya akan terkena dampak negatif. Jika Anda mencoba meningkatkan daya secara berlebihan untuk mempercepat proses pengeringan, hal ini akan merusak komponen-komponen tersebut. Anda perlu menemukan keseimbangan yang tepat antara jumlah panas yang dipantulkan dan kemampuan sistem untuk mengeluarkan panas tersebut.
Cara penggunaan
Unit-unit ini dirancang untuk menggantikan modul IR standar, sehingga mudah dipasang. Yang perlu diperhatikan adalah alinhemenya. Aksis lampu dan permukaan reflektor berlapis emas harus sejajar dengan sempurna. Jika lampu sedikit saja tidak sejajar, maka fokus panas akan terganggu, sehingga proses pengeringan menjadi tidak merata.
Satu tips lagi: pasang unit ini pada sumber daya listrik yang stabil. Fluktuasi tegangan bisa merusak lampu, sehingga umur pakainya akan berkurang drastis.