रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) लैंप
फ़ैब फ़्लोर पर, आप जानते हैं कि यह कैसे चलता है: एक आधा डिग्री का डिफ़्ट सॉफ़्ट बेक में फोटोरेसिस्ट प्रोफ़ाइल को बदल देता है, और वह बदलाव आपके...
ऑप्टिकल वेफर प्रोसेसिंग हीटर
फैब फ्लोर पर, एक 300mm वेफर रखा है, जो फोटोरेसिस्ट प्रोफाइल को लॉक करने के लिए सॉफ्ट बेक का इंतजार कर रहा है। एक हॉट स्पॉट, एक कोल्ड ज़ोन, और आपकी...