http://ir-heat-element.com/he/tags/%D7%AA%D7%A8%D7%9E%D7%99/ Recent content in תרמי on Reliable IR Heating Elements Hugo he Mon, 08 Jun 2026 05:32:31 +0800 http://ir-heat-element.com/he/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:32:31 +0800 http://ir-heat-element.com/he/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="מנורת עיבוד תרמי מהיר (RTP)"></p> <h1 id="על-רצפת-המפעל">על רצפת המפעל</h1> <p>אתם יודעים איך זה עובד: סטייה של חצי מעלה בתהליך ה-soft bake מזיזה את פרופיל הפוטורזיסט, והזזה זו משפיעה על הממד הקריטי שלכם. תקציב החום מדויק ואין מקום לחריגה.</p> <p><strong>מה שחשוב מתחת למכסה המנוע</strong></p> <p>אנחנו מפעילים מנורות RTP עם חימום הלוגן בגל קצר דרך קוורץ טהור מאוד, כך שהאנרגיה מהירה וכיוונית. המערכת שומרת על אחידות תרמית ברמת הוופר בטווח ±0.1°C לאורך כל חלון התהליך, מ-soft bake ועד hard bake של הפוטורזיסט. החזרה על התהליך זהה בכל הדלקה, ובקרת השליטה המעגלית שומרת על נקודת הסט של הטמפרטורה יציבה תחת עומס.</p>