Lampe de traitement thermique rapide (RTP)

Mon, 08 Jun 2026 05:32:29 +0800

Sur le plancher de production, vous savez comment ça se passe : un décalage d’un demi-degré lors du soft bake modifie le profil du photoresist, et cette variation impacte votre dimension critique. Le budget thermique est strict, il n’y a aucune marge d’erreur.
Ce qui compte en interne
Nous utilisons des lampes RTP avec un chauffage halogène à ondes courtes traversant du quartz de haute pureté, ce qui assure une énergie rapide et directionnelle. Le système maintient une uniformité thermique au niveau des wafers dans ±0,1°C sur toute la plage process, du soft bake au hard bake du photoresist. La répétabilité est assurée frappe par frappe, et le contrôle en boucle fermée stabilise le point de consigne sous charge.
L’équipement est conçu pour une salle blanche de classe 1–100, avec génération nulle de particules et faible dégazage. Ces unités fonctionnent en continu 24/7, et nous avons cumulé plus de 5 000 heures avec une perte de rendement inférieure à 5 %.
Pourquoi cela importe là où vous êtes
En lithographie, une température de cuisson stable garantit le respect des CDs et limite la rugosité des bords de lignes. Une uniformité stricte réduit les rejets en bordure et améliore le rendement global. Des pentes de montée rapides diminuent le temps de cycle sans induire de contraintes thermiques dans l’empilement, et l’efficacité réduit les coûts d’exploitation.
Le résultat est moins d’écarts, moins de retouches, et une production fiable. En packaging, cette même stabilité thermique assure un durcissement fiable et une intégrité solide des liaisons, ce qui maintient le flux en ligne.
Les points à maîtriser
La lampe est à haute intensité, il faut que l’interface de chambre soit adaptée thermiquement. Nous fournissons les plans d’interface, et recommandons une alimentation électrique dédiée avec une stabilité de tension dans ±1 %. Attendez-vous à un court temps de chauffe avant d’atteindre le régime permanent — planifiez vos recettes en fonction de cette montée en température. Une installation correcte vous assurera des performances stables avec un minimum de pannes imprévues.

Chauffeuse de traitement optique de plaquette

Wed, 03 Jun 2026 10:20:05 +0800

Sur le plancher de production, une plaquette de 300mm attend le soft bake qui va stabiliser le profil du photoresist. Un point chaud, une zone froide, et le contrôle de la largeur de ligne est perdu. La ligne s’arrête. Nous avons conçu ce chauffage optique pour le traitement des plaquettes afin d’éviter cela dès le départ.
Ce qui compte réellement, techniquement
L’unité s’appuie sur des émetteurs en quartz à infrarouge à ondes courtes (SWIR), injectant l’énergie directement dans le photoresist et le substrat — de manière rapide, directe et sans complication. La uniformité au niveau de la plaquette est maintenue dans une plage de ±0,1°C sur toute la zone active, garantissant que les étapes critiques de cuisson respectent le budget thermique. Compatible avec les salles blanches de classe 1 à classe 100, ce chauffage ne génère aucune particule en fonctionnement. La répétabilité de la température se maintient à ±0,2°C d’un lot à l’autre, et le chauffage fonctionne 24/7 sans temps d’arrêt non planifié.
Pourquoi il correspond à notre activité
Ce chauffage répond aux quatre pivots thermiques essentiels que nous gérons : séchage de la plaquette, soft bake et hard bake du photoresist, sous-remplissage et durcissement de l’encapsulation dans le packaging, et séchage post-nettoyage.
En lithographie, cette uniformité stricte maintient les cibles de dimension critique (CD) et de profil dans les spécifications, ce qui réduit les rebuts et les retouches. En packaging, la montée en température rapide réduit la durée de polymérisation sans dépassement, ce qui améliore le débit. Et puisque le SWIR chauffe directement sans chauffer une enceinte, la consommation d’énergie diminue.
Voici les détails dont vous avez besoin
L’installation se limite à l’adaptation de l’enveloppe mécanique de l’outil et des circuits de refroidissement. Nous fournissons les plans d’interface et la liste des connecteurs pour faciliter l’intégration.
La durée de vie des émetteurs est évaluée à 10 000 heures. Au-delà, une dérive de puissance peut commencer à affecter l’uniformité sauf si des remplacements sont planifiés. Il est donc recommandé d’anticiper les opérations de maintenance, sans attendre une défaillance en production.

Traitement on Reliable IR Heating Elements

Lampe de traitement thermique rapide (RTP)

Chauffeuse de traitement optique de plaquette