Sur le plancher de fabrication, une plaquette de 300mm contient des milliers de puces. Une variation de 2°C lors du chauffage du photoresist peut compromettre un lot entier. Nous avons conçu nos systèmes thermiques pour éviter cela.
Ce qui compte, techniquement, c’est un contrôle fiable. Nos modules NIR et infrarouge moyenne longueur d’onde maintiennent une uniformité au niveau de la plaquette dans ±0,1°C sur toute la plage de processus, du préchauffage doux au durcissement. Les éléments chauffants en quartz et renforcés en fibre de carbone montent rapidement en température avec un dépassement minimal, ce qui protège le profil du photoresist et maintient les largeurs de traits dans la tolérance.
Chaque unité est certifiée pour une utilisation en salle blanche Classe 1–100, sans génération de particules et avec une construction étanche à faible dégazage. Le résultat est une répétabilité garantissant que la variation des dimensions critiques reste inférieure aux spécifications, ainsi qu’une fiabilité opérationnelle 24/7 sans arrêts non planifiés.
La raison pour laquelle cela fonctionne dans les lignes de production réelles est simple : le comportement thermique doit correspondre à la recette, et non contraindre à adapter la recette à l’équipement. Nous intégrons directement nos modules dans les chaînes existantes de coating/recuit et dans les équipements d’emballage avancés, assurant un contrôle précis de la température à chaque passage de plaquette.
Des budgets thermiques plus serrés. Moins de retouches. Un rendement stable.
La consommation d’énergie diminue car les résistances chauffent uniquement là où c’est nécessaire, et les temps de cycle se raccourcissent grâce à des rampes de montée en température constantes. Pour le secteur des pièces pour machines semi-conducteurs, ces modules s’installent en mise à niveau, prolongeant la durée de vie des équipements sans nécessiter une requalification complète de la ligne.
Voici les points à prévoir. L’installation nécessite d’adapter la tension, le type de connecteur et l’enveloppe mécanique à la plateforme hôte — nous fournissons des plans dimensionnels et des schémas de brochage pour les empreintes OEM courantes.
La mise en service est courte, mais vous devrez ajuster les paramètres PID selon votre gaz de process spécifique et l’empilement de plaquettes. En environnement à forte humidité, un léger biais de consigne compense la charge thermique ambiante.
Planifiez une maintenance préventive tous les 5 000 heures pour maintenir une uniformité stricte et un taux de particules nul.