http://ir-heat-element.com/fa/tags/dryer/ Recent content in Dryer on Reliable IR Heating Elements Hugo fa Wed, 17 Jun 2026 16:30:39 +0800 http://ir-heat-element.com/fa/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Wed, 17 Jun 2026 16:30:39 +0800 http://ir-heat-element.com/fa/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="خشککن ویفر نزدیک به مادون قرمز (NIR)"></p> <p>در این فرآیند، هنگامی که کنترل دما مختل شود، بازدهی کاهش می‌یابد. شستشوی به درستی انجام نشده، باعث ایجاد قطرات ریزی می‌شود؛ این قطرات در واقع محرک ایجاد نقص‌ها هستند. دستگاه‌های استفاده شده برای پخت فوتورزیست، دمای مورد نیاز را نشان می‌دهند، اما در کل مجموعه، تفاوت دما منجر به اختلافاتی در عرض خطوط و وجود ذرات ناخواسته می‌شود. راه‌حل، استفاده از حرارت با کنترل دقیق است.</p> <p><strong>چه چیزهایی اهمیت دارند؟</strong> ما دستگاه خشک‌کن ویفرهای نیر را با استفاده از منابع تابش نزدیک به مادون قرمز ساختیم؛ این منابع برای جذب انرژی توسط سیلیکون مناسب هستند. انرژی در این صورت می‌تواند به داخل ویفر نفوذ کند، بدون اینکه سطح آن آسیب ببیند. پاسخ دستگاه در کمتر از یک ثانیه اتفاق می‌افتد، و یکنواختی دما در سراسر ویفر حدود ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است. این دستگاه سازگار با اتاق‌های تمیز درجه ۱–۱۰۰ است؛ همچنین از موادی با انتشار گاز کم استفاده شده، و مسیر جریان هوا به گونه‌ای است که ایجاد ذرات ناخواسته منتفی شود. قابلیت تکرارپذیری این دستگاه با استفاده از سنسورهای تنظیم‌شده و سیستم کنترل بسته، تضمین می‌شود؛ بنابراین هر مرحله از فرآیند خشک‌کردن، در یک دمای یکنواخت انجام می‌شود.</p>