http://ir-heat-element.com/fa/tags/%D9%87%D9%85%D8%B1%D9%81%D8%AA/ Recent content in همرفت on Reliable IR Heating Elements Hugo fa Thu, 25 Jun 2026 05:19:32 +0800 http://ir-heat-element.com/fa/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Thu, 25 Jun 2026 05:19:32 +0800 http://ir-heat-element.com/fa/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="خشککردن ویفر با استفاده از موجهای مادون قرمز در مقابل روش همرفت"></p> <p>در کارخانه‌های تولید، میزان بازدهی در واحدهای درجه و نانومتر اندازه‌گیری می‌شود. حتی تغییر نیم درجه‌ای در دما، می‌تواند باعث اختلال در عرض لبه‌های قطعات شود؛ همچنین، جریان هوای موجود در فرهای همرفتی، می‌تواند ذرات را روی لایه‌های فوتورزیست قرار دهد. سؤال اصلی این نیست که چگونه ویفرها را خشک کنیم؛ بلکه این است که چگونه این کار را بدون ایجاد تغییرات اضافی در فرآیند انجام دهیم.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟</strong><br> روش خشک‌کردن با اشعه مادون قرمز، انرژی تابشی را مستقیماً روی ویفرها می‌فرستد؛ در نتیجه سطح ویفرها گرم می‌شود، بدون اینکه هیچ جریان هوایی وجود داشته باشد. این روش باعث ایجاد یکنواختی دمایی در سطح ویفرها به میزان ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد می‌شود؛ همچنین، پاسخ سریعی نسبت به تغییرات دما وجود دارد. این ویژگی‌ها دقیقاً همان چیزی هستند که برای خشک‌کردن منظم ویفرها لازم است. سیستم‌های همرفتی از جریان هوای گرم برای گرم کردن ویفرها استفاده می‌کنند؛ اما این روش می‌تواند باعث افزایش تعداد ذرات شود. بنابراین، باید منبع اشعه مادون قرمز را بر اساس بودجه حرارتی، زمان چرخه و نوع سطحی که قرار است گرم شود، انتخاب کنید.</p>