متوقف کردن مشکلات ناشی از تأخیر در فرآیند خشککردن ویفرها: استفاده از نور مادون قرمز در مقابل استفاده از هوای گرم
اگر تا به حال در کارخانههای تولید نیمههادی کار کرده باشید، میدانید که فرآیند شستشو معمولاً باعث کندی در فرآیندهای بعدی میشود. خشککردن ویفرها نیز کاری بسیار دشوار است.
اکثر کارخانهها همچنان از هوای گرم برای خشککردن ویفرها استفاده میکنند؛ اما مشکل اینجاست که برای خارج کردن کمی رطوبت از سطح ویفرها، مجبوریم کل اتاق را گرم کنیم. این کار زمان زیادی را میبرد و نتیجهای ندارد.
تأخیر در فرآیند خشککردن، مشکل اصلی است.
هوای گرم بر پایه اصل همرفت گرما کار میکند؛ یعنی منتظر میمانیم تا گرما به سطح ویفرها برسد. در خطوط تولید با حجم بالا، این تأخیر باعث هدر رفتن پول میشود.
لامپهای مادون قرمز این مشکل را به شکل دیگری حل میکنند؛ آنها بدون توجه به هوای اطراف، انرژی را مستقیماً به مولکولهای آب روی سطح ویفرها منتقل میکنند. این روش سریعتر و مؤثرتر است.
البته نمیتوانیم هر لامپی را در این منظور استفاده کنیم؛ چون در این فرآیند، رطوبت زیادی وجود دارد. اگر از لامپهای معمولی استفاده کنیم، پیوندهای الکتریکی آنها در عرض چند هفته خراب میشوند. بنابراین نیاز به لامپهای مادون قرمز ضدآب با پوشش کوارتزی وزندار داریم تا رطوبت از داخل لامپها خارج نشود.
اما این روش کاملاً جادویی نیست.
نور مادون قرمز بلافاصله به سطح ویفرها برخورد میکند؛ بنابراین زمان خشککردن کاهش مییابد. اما باید مراقب بود؛ چون نور مادون قرمز با شدت بالا میتواند باعث آسیب به ویفرها شود. نمیتوانیم فقط لامپ را جایگزین بلوئر کنیم؛ بلکه باید فاصله و شدت نور را به درستی تنظیم کنیم تا از آسیب به ویفرها جلوگیری شود.
کاربرد عملی این روش
بسیاری از کارخانهها هنگام بهروزرسانی خطوط تولید خود، به استفاده از نور مادون قرمز روی میآورند؛ دلیلش این است که این روش فضای کمتری را اشغال میکند. میتوانیم از بلوئرهای بزرگ و لولههای زیاد استفاده نکنیم. کافی است لامپها را به درستی وصل کنیم و زمان خشککردن کاهش خواهد یافت. فقط مراقب باشید که سیستم خنککننده بتواند گرمای اضافی ناشی از لامپها را جذب کند؛ در غیر این صورت، فضای کارخانه مانند سونا خواهد شد.