افزایش سرعت گرم کردن دستگاههای فرآوری
اگر در حال فرآوری ویفرها یا استفاده از روش CVD هستید، میدانید که لامپهای گرمایشی، هسته اصلی این فرآیندها هستند. اما نکته مهم این است که در یک کارخانه مدرن، نمیتوان از لامپهای گرمایشی ساده استفاده کرد.
شما به منابع گرمایشی نیاز دارید که بتوانند با سیستمهای کنترل دیجیتال در ارتباط باشند. شما باید بتوانید وضعیت گرمایی را به صورت لحظهای مشاهده کنید، نه اینکه تنها حدس بزنید.
جزئیات مربوط به لامپهای UHP
هدف اصلی هنگام ساخت این لامپها، این است که گرمای لازم را دقیقاً در جای مناسب تولید کنند، بدون اینکه مواد زائدی روی سطح ویفر باقی بماند.
برای همین از کوارتز سنتتیک با کیفیت بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده از خروج گازهای سرد جلوگیری میکند. در یک اتاق پاک، این یک الزام اساسی است.
اگر با ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری کار میکنید، احتمالاً به دنبال تولید گرمای زیاد هستید. ما از موجهای مادون قرمز کوتاهموج استفاده میکنیم؛ زیرا این موجها میتوانند به سرعت از میان مواد عبور کنند. این روش باعث کاهش زمان لازم برای گرم شدن دستگاه میشود.
دیگر حدس نزنید، به جای آن ردیابی کنید
صنعت ۴.۰ یک اصطلاح پیچیده است، اما برای ما، به معنای استفاده از دادهها برای ساده کردن کارهاست.
ما این لامپها را به شبکههای کنترل شده توسط PLC متصل میکنیم؛ تا بتوانید ولتاژ و میزان مصرف انرژی را زیر نظر داشته باشید. این کار واقعاً مفید است؛ زیرا به جای تعویض لامپها بر اساس تقویم، میتوانید زمانی که لامپها شروع به کار کردن میکنند را مشاهده کنید.
شما میتوانید لامپها را درست قبل از خراب شدن آنها تعویض کنید. تعویض پیشبینیشده.
علاوه بر این، میتوانید وضعیت گرمایی روی سطح ویفر را در حین فرآیند مشاهده کنید. این کار باعث کاهش ضایعات و مشکلات میشود.
مزایا و معایبی که باید بدانید
باید صادق باشیم؛ لامپهای UHP با توان بالا، گرمای زیادی تولید میکنند، اما به انرژی زیادی نیاز دارند.
حتماً سیمکشی خود را بررسی کنید؛ مطمئن شوید که کانکتورها بتوانند جریان بالا را تحمل کنند. در غیر این صورت، ممکن است مشکلاتی در ولتاژ ایجاد شود. همچنین، فراموش نکنید که سیستم خنککننده نیز مهم است؛ اگر سیستم شما نتواند گرمای محیطی را کنترل کند، دمای فرآیند شروع به تغییر خواهد کرد.
ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین لامپهای فعلی شوند. فقط مطمئن شوید که طول موج لامپها مناسب باشد و خلوص کوارتز نیز در سطح مطلوبی باشد.
اگر این دو مورد را درست انجام دهید، بخش دیجیتال سیستم، کار باقی را انجام خواهد داد.