چگونه دمای ویفر را درست تنظیم کنیم (بدون هدر رفتن انرژی)
در اتاقهای تمیز، اگر دمای ویفر در حین حمل و نقل کاهش یابد، با مشکلات جدی در تولید مواجه خواهیم شد. به همین دلیل از گرمکنهای مخصوص استفاده میکنیم. اما مسئله اینجاست که مهم این نیست که چه مقدار گرما تولید میشود؛ بلکه مهم این است که اطمینان حاصل کنیم که گرما واقعاً به ویفر برسد، نه اینکه فقط بدنه فلزی گرم شود.
چرا از طلا استفاده میکنیم؟
اکثر افراد از آینههای آلومینیومی برای انعکاس نور استفاده میکنند، اما این آینهها مقدار زیادی انرژی مادون قرمز را جذب میکنند. ما از پوششهای طلا استفاده میکنیم؛ زیرا آنها بیش از ۹۸ درصد از این انرژی را منعکس میکنند.
میتوان آن را مانند یک آینه برای انعکاس گرما در نظر گرفت؛ به جای اینکه انرژی در همه جا پخش شود، پوشش طلا آن را در یک جهت هدایت میکند. در واقع، این کار باعث میشود که هر وات انرژی برای تولید گرما استفاده شود، نه برای گرم کردن فضای اطراف.
سرعت و مشکل «نقاط داغ»
ما از لامپهای کوتاهموج با توان بالا استفاده میکنیم؛ زیرا آنها به سرعت به هدف میرسند. این امر باعث میشود که دمای ویفر به سرعت افزایش یابد، که دقیقاً همان چیزی است که میخواهیم.
اما مشکل اینجاست که اگر پوشش طلا کاملاً یکنواخت نباشد، نقاط داغی روی ویفر ایجاد خواهد شد. به همین دلیل ما بر فرآیند تهیه پوشش طلا تأکید زیادی داریم؛ باید پوشش طلا به گونهای باشد که دمای ویفر در سراسر قطر آن یکنواخت باشد.
تعادل بین کارایی و مراقبت:
طلا برای تمرکز انرژی عالی است، اما کمی حساس است. نمیتوانید این سطوح را با مواد تمیزکننده خشن تمیز کنید؛ یک خراش کوچک یا تجمع مواد شیمیایی میتواند باعث کاهش قدرت بازتاب نور شود. در چنین شرایطی، لامپها باید دو برابر تلاش کنند تا دمای ویفر را حفظ کنند؛ در نتیجه فیلامنتهای لامپها نیز سریعتر خراب خواهند شد.
یک نکته دیگر: حتماً کنترلکنندههای PID را بررسی کنید.
از آنجایی که طلا باعث میشود سیستم سریعتر واکنش نشان دهد، دمای ویفر نیز به سرعت افزایش مییابد. باید پارامترهای کنترلی را به درستی تنظیم کنید؛ در غیر این صورت، خطر سوختن ویفر وجود دارد.