دیگر وقت خود را صرف انتظار گرم شدن ویفرها نکنید!
اگر هنوز از سیستمهای گرمایش با هوای داغ برای پردازش ویفرها استفاده میکنید، در واقع در حال مبارزه با زمان هستید. هوای داغ، سرعت گرم کردن فضای داخل محفظه را کم میکند؛ بنابراین باید کل فضای محفظه و هوای موجود در آن را گرم کرد، تا ویفر متوجه تغییرات شود. این کار باعث اتلاف زمان زیادی میشود.
استفاده از سیستمهای گرمایش مادون قرمز، تمام اوضاع را تغییر میدهد. به جای انتظار برای گرم شدن هوا، این سیستمها انرژی را به صورت خطی به سمت سطح ویفر ارسال میکنند. تفاوتش بسیار زیاد است؛ در حالی که سیستمهای گرمایش با هوای داغ ممکن است دقایق زیادی را صرف تلاش برای استabil کردن دما کنند، سیستمهای مادون قرمز در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر میرسند.
در صورتی که پردازش ویفرها در حجم زیاد انجام شود، این ثوانی صرفهجویی شده، فقط «پیروزیهای کوچک» نیستند؛ بلکه منجر به افزایش ساعات کاری در هر شیفت میشود.
علاوه بر این، سیستمهای گرمایش با هوای داغ، پیچیده و سنگین هستند؛ برای جلوگیری از نشت گرما، نیاز به استفاده از فنهای بزرگ و محافظتهای خاصی وجود دارد. در مقابل، لامپهای مادون قرمز بسیار کوچک هستند؛ میتوان آنها را درست کنار سطح ویفر قرار داد تا یک منطقه گرمایی کنترلشده ایجاد شود و امکان افزایش یا کاهش سریع دما فراهم شود.
اما نکته مهم این است که نمیتوان فقط یک بخش از سیستم را تغییر داد و فکر کرد که کار تمام شده است. سیستمهای مادون قرمز، نیاز به تنظیمات دقیق دارند؛ در غیر این صورت، دما ممکن است بیش از حد افزایش یابد و ویفر آسیب ببیند.
با این حال، برای اکثر کارخانهها، این تغییر، انتخابی منطقی است؛ چرا که هدف اصلی، رساندن ویفر به دمای مورد نظر و خروج آن به سرعت است.