Lámpara de procesamiento térmico rápido (RTP)
En la planta, ya sabes cómo es: una desviación de medio grado en el horneado suave desplaza el perfil del fotoresiste, y ese desplazamiento afecta tu...
Calentador para el procesamiento óptico de obleas
En la planta, un oblea de 300mm está colocada, esperando el horneado suave para fijar el perfil del fotoresistente. Un punto caliente, una zona fría,...