Reducir las emisiones de carbono en las cámaras estériles para semiconductores mediante calefacción por infrarrojos
Seamos honestos: calentar una cámara estéril para trabajar con semiconductores suele ser un desperdicio de energía. La mayoría de los sistemas utilizan calefacción resistiva, lo que significa que se intenta calentar todo el interior de la cámara solo para que la pieza a procesar alcance la temperatura adecuada. Es ineficiente.
Hemos encontrado una forma mejor. Al utilizar elementos calefactoros de onda corta infrarroja, podemos dirigir el calor exactamente donde es necesario. En lugar de tratar de calentar todo el aire dentro de la cámara, nos concentramos únicamente en la pieza que estamos procesando.
El aspecto energético
Cuando se trabaja en vacío o en una atmósfera inerte, es necesario alcanzar rápidamente la temperatura deseada. Aquí es donde entra en juego la alta densidad de potencia. Dado que los infrarrojos transfieren calor mediante radiación y no por convección, no se gastan kilovatios de energía solo para calentar el gas argón o nitrógeno que llena la cámara. Es un método eficiente. De este modo, se reducen los tiempos de calentamiento, y se notará una diferencia inmediata en la factura de energía.
Los componentes necesarios
La contaminación es el principal problema aquí. Un pequeño error puede arruinar todo el proceso. Por eso, utilizamos envolventes de cuarzo de alta pureza y filamentos de tungsteno. El cuarzo es ideal porque no libera gases cuando se calienta. También utilizamos recubrimientos especiales para asegurarnos de que el calor penetre realmente en el material, en lugar de rebotar en su superficie.
Y como el espacio en estas cámaras siempre es limitado, utilizamos conectores estandarizados. Esto asegura una conexión eléctrica sólida y evita que se produzcan arcos eléctricos.
La realidad
Pasarse a la calefacción por infrarrojos es beneficioso tanto para el planeta como para las salas limpias. Reduce enormemente la carga en los sistemas de climatización y refrigeración. Pero no se trata de algo sencillo de implementar. La calefacción por infrarrojos genera un calor intenso en ciertas zonas. Si no se prestan suficiente atención a los soportes de montaje o al blindaje, se pueden dañar las estructuras o los sellos de la cámara. Además, no basta con encender un interruptor; se necesita un controlador PID preciso. Sin un sistema de retroalimentación adecuado, es muy fácil dañar los filamentos o quemar el sustrato.