Sensor on Reliable IR Heating Elements

Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensorwafers

Tue, 28 Jul 2026 05:38:28 +0800

Richtiges Trocknen von MEMS-Chips mit Strahlungswärme
Das Trocknen von MEMS-Sensor-Chips erfordert eine gewisse Präzision. Man benötigt genügend Wärme, um das Feuchtigkeit herauszubringen – doch wenn man zu viel Wärme einsetzt, werden die winzigen, empfindlichen Mikrostrukturen zerstört.

Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen aus Gold. Das klingt zwar kompliziert, doch das Ziel ist einfach: Die Infrarotstrahlung soll tatsächlich auf den Chip treffen und nicht nur den Inneren der Maschine erwärmen.

Warum Gold?
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminiumreflektoren – doch das hat einen Nachteil: Aluminium absorbiert und streut viel Energie. Das ist verschwenderisch. Wir nutzen stattdessen eine hochreine Goldbeschichtung – schließlich ist Gold besser darin, Infrarotlicht zurückzustrahlen. Dadurch wird die Wärme direkt auf den Chip geleitet, anstatt in das Gehäuse abzuschwanken.

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Mon, 27 Jul 2026 09:19:20 +0800

Die Reinigung der Fertigungsanlage: Warum Infrarotheizung tatsächlich funktioniert
Seien wir ehrlich bezüglich der Halbleiterfertigungsanlagen: Wir kümmern uns sehr um die thermischen Bedingungen – denn schon ein kleiner Fehler kann dazu führen, dass man mit einem Haufen teurer Schrott konfrontiert wird. Lange Zeit haben wir auf herkömmliche Widerstandsheizungen gesetzt. Sie funktionieren zwar, aber sie sind unpraktisch.

Der Umstieg auf Infrarotlampen ist eine viel bessere Lösung, um die Fertigungsanlage „grüner“ zu machen, ohne dabei an Leistung einzubüßen. Es geht dabei nicht nur darum, bestimmte Nachhaltigkeitsziele zu erreichen – es geht auch darum, den Energieverbrauch zu reduzieren.

Intelligente Sensorverpackung für Infrarotstrahlung

Tue, 21 Jul 2026 09:55:27 +0800

Hören Sie auf, Raten zu spielen – lassen Sie die IR-Systeme wirklich für Ihre Fabrik funktionieren!
Wenn Sie eine moderne Fabrik planen, haben Sie vermutlich bereits erkannt, dass es nicht mehr ausreicht, einfach die Heizleistung zu erhöhen. Die wahre Magie entsteht dann, wenn man aufhört, das Heizen als lästige Aufgabe zu betrachten und es stattdessen als Quelle von Daten ansieht.

Deshalb kommen Intelligente Infrarot-Systeme ins Spiel. Wir nutzen sie nicht nur dazu, Dinge zum Erhitzen zu bringen, sondern auch dazu, genau zu sehen, was mit den Bauteilen in Echtzeit geschieht.

Heizgerät für die Herstellung von Wasserstoffsensoren

Sat, 18 Jul 2026 04:30:21 +0800

Wie man den Albtraum stoppt: Wie man seine Siliziumwafers sauber hält, wenn die Heizgeräte versagen
Wer schon einmal mit der Herstellung von Wasserstoff-Sensoren zu tun hatte, kennt das Problem. Man verwendet Kurzwellen-Infrarotlampen, um die Siliziumwafers auf die nötige Temperatur zu bringen. Das funktioniert großartig – bis es plötzlich nicht mehr funktioniert.

Wenn man diese Lampen bei hoher Produktionslast einsetzt, wird es riskant. Wenn eine Quarztube platzt, ist das kein einfacher Defekt – es handelt sich um eine Katastrophe. Glassplitter und chemische Rückstände fallen auf die Wafers herab – und dadurch werden alle Wafers unbrauchbar.