Richtiges Trocknen von MEMS-Chips mit Strahlungswärme
Das Trocknen von MEMS-Sensor-Chips erfordert eine gewisse Präzision. Man benötigt genügend Wärme, um das Feuchtigkeit herauszubringen – doch wenn man zu viel Wärme einsetzt, werden die winzigen, empfindlichen Mikrostrukturen zerstört.
Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen aus Gold. Das klingt zwar kompliziert, doch das Ziel ist einfach: Die Infrarotstrahlung soll tatsächlich auf den Chip treffen und nicht nur den Inneren der Maschine erwärmen.
Warum Gold?
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminiumreflektoren – doch das hat einen Nachteil: Aluminium absorbiert und streut viel Energie. Das ist verschwenderisch. Wir nutzen stattdessen eine hochreine Goldbeschichtung – schließlich ist Gold besser darin, Infrarotlicht zurückzustrahlen. Dadurch wird die Wärme direkt auf den Chip geleitet, anstatt in das Gehäuse abzuschwanken.
Energieeffizienz in kleinem Raum
Beim Auswahl dieser Heizgeräte geht es vor allem um die Energiedichte – man möchte möglichst viel Leistung in einem kleinen Raum erzielen. Durch die Fokussierung der Strahlung kann man bei geringerer Leistung die gewünschte Trockenetemperatur erreichen. Dadurch wird die Aufwärmzeit verkürzt und die Bearbeitungszeit pro Chip sinkt.
Der Kompromiss
Es gibt jedoch einen Nachteil: Wenn man die Wärme so intensiv fokussiert, leiden die Lampenelektroden sowie das Gehäuse darunter. Wenn man versucht, die Leistung zu erhöhen, um die Prozesse zu beschleunigen, riskiert man Probleme. Die Filamente können verbrennen oder der Reflektor kann verdreht werden, wenn die Kühlung nicht richtig funktioniert. Man muss also den perfekten Balancepunkt zwischen der Menge an reflektierter Wärme und der Fähigkeit des Systems finden, diese Wärme abzuleiten.
Einrichtung
Diese Geräte sind als Ersatz für herkömmliche IR-Module konzipiert – daher ist ihre Installation unkompliziert. Der wichtigste Punkt ist die Ausrichtung: Die Achse der Lampe und die goldbeschichtete Fläche müssen perfekt übereinstimmen. Wenn die Lampe auch nur leicht aus der Mitte verschoben ist, entsteht keine konzentrierte Wärmequelle mehr und das Trocknen verläuft ungleichmäßig.
Letzter Tipp: Stecken Sie das Gerät in eine stabile Stromversorgung ein. Spannungsspitzen können die Lebensdauer der Lampe stark verkürzen.