http://ir-heat-element.com/cs/tags/free/ Recent content in Free on Reliable IR Heating Elements Hugo cs Mon, 01 Jun 2026 02:55:01 +0800 http://ir-heat-element.com/cs/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:55:01 +0800 http://ir-heat-element.com/cs/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Infračervená lampa bez ozonu"></p> <p>Na lince čeká 300mm wafer na vypálení. Pokud soft bake sklouzne o 0,3 °C, uvidíte posun CD, zkreslení overlay a celá série míří na přepracování. Nastavení pece může vypadat stabilně, ale senzor na nosiči ukazuje jiný stav – horká místa, studené okraje, tenká vrstva se vytvrzuje nesprávně.<br> Provozujete čistou místnost třídy 1–100. Žijete a dýcháte počty částic na kubický stopu a každou odchylku dohledáváte až ke kořenu problému. Konvenční lampy samozřejmě dokážou dodat teplo, ale zároveň do procesu přinášejí ozón, uvolňování plynů a částice. Mají drift, stárnou nerovnoměrně. A když se výkon lampy změní, změní se i procesní okno.<br> Vyvinuli jsme infračervené lampy bez ozónu, abychom tyto proměnné eliminovali. Jde o tepelnou kontrolu tam, kde je to rozhodující – přímo u waferu, ne jen u topného tělesa.</p>