V provozu výroby nečeká linka na nic. Jedna teplotní výkyv během měkkého nebo tvrdého zahřívání způsobí, že kritické rozměry začnou se měnit. Wafery pak musí být znehodnoceny. Lithografie se zastaví. Potřebujete tedy zahřívací platformu, která funguje nepřetržitě, a ne takovou, která většinu dne zůstává nečinná.
Co je z technického hlediska důležité
Snažíme se udržet rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C po celé ploše substrátu. Díky tomu zachováte správnou teplotu a můžete kontrolovat rozměry waferů. Krátkovlnné a střednovlnné infračervené záření spolu s moduly z kvartzu a uhlíkových vláken umožňují rychlé dosažení požadované teploty s minimálními zpožděními. To zajistí stabilní teplotní profil od 90 °C do 150 °C v každém cyklu.
Hardwarové zařízení funguje bez problémů – bez žádných částic. Proto může být používáno v čistých prostorách třídy 1–100. Při provozu 24/7 nehrozí žádné neplánované přerušení provozu. Měřená doba provozu přesahuje 30 000 hodin. Díky uzavřenému regulačnímu systému, ukládání parametrů a sledování teplot zůstává opakovatelnost konstantní.
Proč to funguje v lithografii
Tolerance při zpracování fotorezistů jsou velmi nízké, a to ví každý. Systém udržuje teplotu v přesných mezích, takže měkké zahřívání homogenně odstraňuje rozpouštědla, zatímco tvrdé zahřívání nastavuje požadovanou teplotu bez nadměrného nebo nedostatečného zahřívání. To vede k menšímu počtu oprav, vyšší produktivitě a předvídatelnému výkonu.
Spotřeba energie je snížena díky pulzní regulaci a recyklaci tepla. Tím snižujete náklady na provoz, aniž byste snížili rychlost výroby.
Několik praktických detailů
Pro instalaci je potřeba speciální napájecí zařízení. To zabraňuje výkyvům napětí a chrání stabilitu teploty během výpadků elektřiny. Výměna modulů probíhá bez nástrojů, ale pro plné integrování s vašimi existujícími rozhraními obvykle je potřeba krátký testovací proces – jen aby byly parametry správně nastaveny a data správně zachycována.
Připravte si dvouhodinový čas na kalibraci a poté 24 hodin na ověření, že neexistují žádné výkyvy.