半导体机械零件贸易

在晶圆厂车间，一片300mm晶圆上载有数千个芯片。在光刻胶烘烤过程中，温度波动2°C就可能导致整批次报废。我们的热控系统旨在防止此类情况发生。 技术上关键的是可靠的温控。我们的近红外（NIR）和中波红外模块可在整个工艺窗口内实现晶圆级均匀性控制在±0.1°C以内，从软烘烤到硬烘烤阶段均能保持稳定。...