半导体洁净室手推车式加热器

如何恰到好处地加热晶圆（同时避免能量浪费） 在洁净室中，如果晶圆在运输过程中温度下降，那将会导致生产效率大幅下降。因此，我们使用轨道式加热器来保持晶圆的温度。不过，真正的挑战在于：关键不在于能产生多少热量，而在于确保热量能够真正传递到晶圆上，而不是仅仅让金属外壳变热而已。 为何选择黄金涂层 大多数...