红外发射器的陶瓷端盖

陶瓷端盖式红外发射器：降低半导体深加工中的等待时间 我们设计这种陶瓷端盖式红外发射器的目的很明确：用它来取代半导体深加工中使用的热风循环方式，从而大幅减少不必要的等待时间。 使用热风时，首先需要加热空气，然后再等待热量传递到基板上去。而使用红外线的话，能量可以直接作用于目标物体上。这种直接作用方式...