别再浪费时间等待晶圆加热了
如果你仍然使用热空气循环的方式来加热晶圆，那其实是在与时间作无谓的斗争。因为热空气的加热速度很慢，必须先让整个腔室以及其中的空气都达到合适的温度，晶圆才能感受到温度变化。这种漫长的等待过程会大大浪费你的时间。
而改用红外线加热方式则完全不同。红外线可以直接将能量传递到晶圆表面，无需等待空气变暖。其效率极高——热空气加热系统可能需要数分钟才能使温度稳定下来，而红外线加热系统则能在几秒内让温度达到设定值。
在需要大量处理晶圆的情况下，这些节省下来的时间可不是小事。它们能帮助你每班次多完成数小时的加工任务。
此外，从设备结构来看，热空气加热系统相当笨重，需要大量的鼓风机、通风管道以及隔热装置来防止热量流失。而红外线灯则体积小得多，可以紧贴晶圆表面，从而形成精确控制的加热区域，实现快速升温或降温。
不过，也有需要注意的地方。你不能简单地更换加热器就万事大吉。红外线加热系统对参数要求很高，如果灯光阵列不平衡或晶圆厚度不合适，就可能会出现局部过热的情况。因此，你需要调整PID控制器，否则就可能导致温度失控，进而损坏晶圆。
不过，对于大多数工厂来说，这种权衡显然是值得的。因为最终的目标还是尽快让晶圆达到所需温度，并将其送出生产线。