Trên sàn sản xuất, một tấm wafer 300mm chứa hàng nghìn die. Một biến động 2°C trong quá trình nung photoresist có thể làm hỏng toàn bộ lô. Chúng tôi thiết kế hệ thống nhiệt để ngăn điều đó xảy ra.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật là kiểm soát mà bạn có thể tin tưởng. Các mô-đun NIR và hồng ngoại trung sóng của chúng tôi giữ độ đồng đều ở mức wafer trong phạm vi ±0,1°C trên toàn bộ cửa sổ quy trình, từ nung mềm đến nung cứng. Các phần tử gia nhiệt làm từ thạch anh và sợi carbon tăng nhiệt nhanh với độ vượt nhiệt tối thiểu, giúp bảo vệ hình dạng photoresist và giữ đúng kích thước chiều rộng đường mạch.
Mỗi thiết bị được đánh giá sử dụng trong phòng sạch Class 1–100, không phát sinh hạt bụi và cấu tạo kín, hạn chế khí thải. Kết quả là khả năng lặp lại giữ biến động kích thước quan trọng dưới mức tiêu chuẩn và độ tin cậy vận hành liên tục 24/7 không gián đoạn ngoài kế hoạch.
Lý do thiết bị hoạt động thực tế trong các cell là đơn giản: hành vi nhiệt phải phù hợp với công thức quy trình, không ép bạn phải thay đổi quy trình để phù hợp với thiết bị. Chúng tôi tích hợp trực tiếp vào các hệ thống coater/bake hiện có và thiết bị đóng gói tiên tiến, cung cấp kiểm soát nhiệt độ chính xác mỗi lần đi qua wafer.
Ngân sách nhiệt chặt hơn. Ít sửa lỗi. Năng suất ổn định.
Tiêu thụ năng lượng giảm vì bộ gia nhiệt tập trung nhiệt tại vị trí cần thiết, thời gian chu trình rút ngắn nhờ tốc độ tăng nhiệt đều. Đối với ngành phụ tùng máy móc bán dẫn, các mô-đun này là giải pháp nâng cấp kéo dài tuổi thọ thiết bị mà không cần chứng nhận lại toàn bộ dây chuyền.
Dưới đây là những điều cần lên kế hoạch. Việc lắp đặt yêu cầu khớp điện áp, loại đầu nối và kích thước cơ khí với nền tảng chủ — chúng tôi cung cấp bản vẽ kích thước và chân nối cho các footprint OEM phổ biến.
Quá trình vận hành ban đầu ngắn, nhưng bạn sẽ tinh chỉnh tham số PID phù hợp với loại khí quy trình và chồng wafer cụ thể. Trong môi trường độ ẩm cao, một độ lệch điểm đặt nhỏ bù cho tải nhiệt môi trường xung quanh.
Lên kế hoạch bảo trì phòng ngừa sau mỗi 5.000 giờ để giữ độ đồng đều chặt và số lượng hạt bụi bằng không.