Припиніть марнувати час: чому метод нагріву інфрачервоними променями справді ефективний
Якщо ви займаєтесь глибокою обробкою напівпровідників, ви знаєте, як це дратує – чекати.
Довгий час ми користувалися методом примусової конвекції повітря. Але є проблема: у вакуумі неможливо нагріти повітря. Там просто немає повітря. Намагання використовувати метод конвекції у вакуумній камері є безрезультатним. Саме тому ми перейшли на метод нагріву інфрачервоними променями.
Час очікування закінчився.
Уявіть, як працюють системи, які використовують повітря. Спочатку потрібно нагріти повітря, а потім вже це повітря має нагріти пластину. Це повільно. Це затримка, яка значно знижує продуктивність та створює серйозні перешкоди у роботі.
Нагрівачі інфрачервоного типу уникають усього цього. Вони посилають фотони прямо на об’єкт нагріву. Без посередників. Без очікування. Ви досягаєте бажаної температури за кілька секунд, а не хвилин. Якщо ви працюєте з несколькома об’єктами протягом дня, ці заощаджені хвилини можуть призвести до значного збільшення продуктивності.
Але не можна просто покласти будь-який нагрівач у вакуум.
Більшість стандартних нагрівачів виділяють пари. Вони випускають леткі речовини, які можуть потрапити на пластину та все зіпсувати. Це справжній кошмар. Щоб уникнути цього, ми використовуємо філаменти високої чистоти та спеціалізовані кварцеві оболонки. Ми також приділяємо увагу герметичності. Якщо елементи, через які проходить тепло, не є вакуумостійкими, цілісність камери порушується.
Але є одна проблема.
Інфрачервоне тепло є дуже інтенсивним. Хоча це чудово для швидкості нагріву, це створює великий тиск на систему охолодження. Якщо час включення нагрівача не контролюється належним чином, температура може перевищити допустимі значення, перш ніж ви це усвідомите.
Вам потрібен надійний систем контролю температури та система охолодження, яка зможе впоратися з великим навантаженням. Якщо не використовувати теплоізоляцію, тепло почне поширюватися по стінках камери, і ваші пристрої можуть деформуватися.
У кінцевому підсумку йдеться про розумне використання енергії. Припиніть намагатися нагрівати порожній простір навколо об’єкта – просто нагрівайте сам об’єкт.