На виробничому майданчику 300мм пластина містить тисячі кристалів. Коливання температури на 2°C під час запікання фоторезисту може зіпсувати цілу партію. Ми створили наші теплові системи, щоб цього не допустити.
Технічно важливим є керування, якому можна довіряти. Наші модулі NIR та середньохвильового інфрачервоного випромінювання забезпечують однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C у всьому процесі — від м’якого запікання до твердого. Кварцові та армовані вуглецевим волокном нагрівальні елементи швидко нарощують температуру з мінімальним перевищенням, що дозволяє зберегти профіль фоторезисту та підтримувати ширину ліній у заданих межах.
Кожен блок призначений для використання в чистих кімнатах класу 1–100, не генерує частинок і має герметичну конструкцію з низьким рівнем виділення газів. Результат — повторюваність, що утримує варіації критичних розмірів нижче заданих специфікацій, та надійність, яка працює цілодобово без несподіваних простоїв.
Чому це працює в реальних виробничих лініях — просто: теплові характеристики мають відповідати рецептурі, а не змушувати змінювати рецепт під обладнання. Ми інтегруємося безпосередньо у наявні лінії нанесення покриття/запікання та обладнання для складного пакування, забезпечуючи точний контроль температури на кожному проході пластини.
Жорсткіші теплові ліміти. Менше переробок. Стабільна вихідна якість.
Споживання енергії знижується, оскільки нагрівачі подають тепло саме туди, де воно потрібне, а час циклу скорочується завдяки стабільним швидкостям нагріву. Для ринку комплектуючих напівпровідникового обладнання ці модулі є оновленням, що продовжує ресурс устаткування без повторної кваліфікації всієї лінії.
Ось що потрібно врахувати при плануванні. Встановлення передбачає узгодження напруги, типу роз’ємів і розмірів корпусу із платформою замовника — ми надаємо креслення з розмірами та розводку контактів для типових OEM конфігурацій.
Пусконалагодження коротке, але PID-параметри доведеться налаштовувати під конкретний процес газу та стек пластин. У середовищах з високою вологістю невелике зміщення заданої точки компенсує вплив навколишнього теплового навантаження.
Плануйте профілактичне обслуговування кожні 5,000 годин, щоб підтримувати жорстку однорідність і нульовий рівень частинок.