Üretim alanında, fotoresistin yumuşak pişirilmesi sırasında meydana gelen 2°C’lik bir sıcaklık değişikliğinin, haftalarca süren çalışmaların sonuçlarını nasıl yok edebileceğini biliyorsunuz. Litografideki termal dalgalanmalar mı? Buna katlanmak mümkün değil. Waferlerin kurutulması sırasındaki düzensizlikler de aynı durumdadır. Isıtma elemanının, makinenin işlem gerekliliklerine ayak uydurması şarttır.
Önemli olan şeyler
Molibden destekli kızılötesi lambayı, yüksek ışık yayma kapasitesine sahip bir filaman ve stabil kalabilen bir yansıtıcı yapı etrafında tasarladık. Bunun sonucunda, wafer seviyesinde çok düşük hata paylarıyla tekrarlanabilir sıcaklık kontrolü elde ediliyor; genellikle sıcak bölgede ±0,1°C civarında bir hata payı vardır. Molibden destek, tekrarlanan termal döngülere rağmen şeklini korur ve lambanın kabuğu da Class 1’den Class 100’e kadar olan temiz odalar için uygundur. Lambanın çıkış gücü sabit kalır; 5.000 saatten fazla çalıştığında bile yoğunlukta %5’ten az bir değişiklik olur.
Neden sizin ihtiyaçlarınıza uygun?
Bu lamba, waferlerin kurutulması, fotoresistin yumuşak ve sert pişirilmesi, paketleme işlemleri ve temizlik sonrası kurutma gibi işlemler için özel olarak tasarlanmıştır. Yüksek düzeydeki düzenlilik, hat kenarlarının pürüzsüz olmasını sağlar ve çözücü birikiminin azalmasına yardımcı olur; bu da CD kontrolünü kolaylaştırır ve yeniden işlemleri azaltır. Hızlı ve kontrollü ısınma süreci, pişirme sürelerini kısaltır ve termal dengeyi korur. Temiz ve parçacık kontrolüne sahip ısıtma sistemi, her wafer için çok düşük seviyelerdeki kirliliklerin önlenmesine yardımcı olur.
Montaj konusunda dikkat edilmesi gerekenler
Toleranslar oldukça düşüktür. Lambanın kabuğunu oda portuyla eşleştirin ve montaj arayüzünü OEM donanımıyla karşılaştırın; hatalı montaj, sıcak noktaların oluşmasına ve sıcaklık dalgalanmalarına neden olur. Lamba yüksek güç yoğunluğunda çalışır; bu yüzden güç kaynağının yükü karşılayabilecek kapasitede olduğundan ve hava akış yolunun açık olduğundan emin olun. Böylece filamanın sıcaklığı stabil kalır. Çıkış gücünün sabitlenmesi için bir ısınma süresi gereklidir; bu yüzden tekrarlanabilirliği sağlamak için işlemlerinizi bu süreye göre planlayın.