Kabusu Durdurmak: Isıtıcılar Arızalandığında Silikon Wafer’leri Nasıl Temiz Tutabilirsiniz?
Eğer hidrojen sensörü üretimiyle ilgili işler yaptıysanız, durumu iyi bilirsiniz. Silikon wafer’leri belirli bir sıcaklığa ulaştırmak için kısa dalga boylu kızılötesi lambalar kullanılır. Bu yöntem oldukça etkiliyse de, bazen işler yolunda gitmeyebilir.
Yüksek kapasiteli üretim süreçlerinde bu lambalara aşırı yük uygulandığında tehlikeli durumlar ortaya çıkabilir. Eğer kuvars tüpü patlarsa bu sadece bir ampulün kırılması anlamına gelmez; bu bir felakettir. Cam parçaları ve kimyasal kalıntılar wafer’lere düşer ve böylece tüm ürünler boşa gider.
Peki bu tüpler neden patlar?
Genellikle basınç ve şok nedeniyle olur. Bu yüksek güçlü lambalar büyük içsel stres altındadır. Eğer soğutma havası tüpe eşit şekilde ulaşmazsa veya güç çok hızlı değiştirilirse, kuvars dayanamaz ve çatlar.
Bunu önlemek için sıradan cam kullanmayız. Yüksek saflıkta füzyon kuvarsı kullanırız. Duvar kalınlığını ayarlamak için çok zaman harcadık; ısıyun geçmesine izin verecek kadar ince, ancak basınç altında da dayanacak kadar sağlam olmalıdır.
Bir güvenlik ağı oluşturma
Bir arızayla başa çıkmanın en iyi yolu, bunun olacağını varsaymaktır. Lambayı açık bırakmak yerine, onu koruyucu bir sistemle sararız. İç kısım patladığında bu koruyucu sistem her şeyi engeller. Böylece ne cam parçaları ne de tungsten tel parçaları wafer’lere temas eder.
Ayrıca elektrotlara da çok dikkat ederiz. Çoğu patlama, elektrotların ucundan başlar. Kuvarsın termal genleşmesine uyum sağlayabilecek güçlendirilmiş elektrotlar kullanarak bu gerilimin oluşmasını engelleriz.
Tercihler ve nasıl başa çıkılır
İşte burada bir sorun var: Bir koruyucu sistemi eklemek, kızılötesi ışığın bir kısmının hedefe ulaşmasını engeller. Aynı sıcaklığı elde etmek için güç ayarlarını artırmak veya wafer’leri daha uzun süre bekletmek gerekebilir. Tavsiyem, koruyucuları yerleştirdikten sonra PID ayarlarını tekrar kontrol etmenizdir. Hedef sıcaklığa ulaşıldığından emin olmak istersiniz.
Son olarak: Lambaları aşırı akım korumasına sahip bir sisteme bağlayın. Sistemin devre dışı kalması, lambanın kopma noktasına ulaşmasından çok daha iyidir.