บนพื้นโรงงาน ชิ้นเวเฟอร์ขนาด 300mm ประกอบด้วยไดหลายพันชิ้น การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 2°C ในระหว่างการอบโฟโตรีซิสต์สามารถทำให้ล็อตทั้งหมดเสียหายได้ ระบบความร้อนของเราถูกออกแบบมาเพื่อป้องกันเหตุการณ์นั้นไม่ให้เกิดขึ้น
สิ่งที่สำคัญเชิงเทคนิคคือการควบคุมที่ไว้วางใจได้ โมดูล NIR และอินฟราเรดคลื่นกลางของเราสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ตลอดช่วงกระบวนการทั้งหมด ตั้งแต่การอบแบบ soft bake จนถึง hard bake อุปกรณ์ทำความร้อนที่เสริมด้วยควอตซ์และเส้นใยคาร์บอนเร่งอุณหภูมิได้รวดเร็วโดยมีการโอเวอร์ชูตต่ำสุด เพื่อปกป้องโปรไฟล์โฟโตรีซิสต์และรักษาความกว้างของเส้นบนเวเฟอร์ให้อยู่ในเป้าหมาย
แต่ละยูนิตได้รับการจัดอันดับสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่มีการสร้างอนุภาคและมีการปิดผนึกโครงสร้างที่ลดการระเหยของไอสาร ผลลัพธ์คือความสามารถในการทำซ้ำที่รักษาค่าความคลาดเคลื่อนของมิติที่สำคัญให้อยู่ต่ำกว่าค่ากำหนด และความน่าเชื่อถือที่สามารถใช้งานได้ต่อเนื่อง 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด
เหตุผลที่ระบบนี้ทำงานได้ดีในเซลล์การผลิตจริงนั้นง่าย: พฤติกรรมทางความร้อนต้องสอดคล้องกับสูตรกระบวนการ ไม่ใช่บังคับให้ปรับสูตรให้เข้ากับเครื่องจักร เราเชื่อมต่อโดยตรงกับระบบเคลือบและอบที่มีอยู่ รวมถึงอุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ขั้นสูง เพื่อส่งมอบการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำในทุกการผ่านเวเฟอร์
งบประมาณความร้อนที่เข้มงวดขึ้น ลดการซ่อมงานใหม่ ผลผลิตที่คงที่
การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากฮีตเตอร์ส่งความร้อนเฉพาะจุดที่ต้องการ และเวลาวงจรที่กระชับขึ้นจากอัตราการเร่งอุณหภูมิที่สม่ำเสมอ สำหรับอุตสาหกรรมชิ้นส่วนเครื่องจักรเซมิคอนดักเตอร์ โมดูลเหล่านี้สามารถติดตั้งแทนที่เพื่ออัปเกรดเครื่องจักรเดิม ช่วยยืดอายุการใช้งานโดยไม่ต้องรับรองคุณสมบัติใหม่ทั้งสายการผลิต
สิ่งที่ต้องวางแผนมีดังนี้ การติดตั้งต้องสอดคล้องกับแรงดันไฟฟ้า ชนิดของขั้วต่อ และขนาดทางกลของแพลตฟอร์มโฮสต์ — เราจัดเตรียมแบบร่างมิติและพินเอาต์สำหรับขนาดฐาน OEM ทั่วไป
การเริ่มใช้งานใช้เวลาสั้น แต่ต้องปรับแต่งพารามิเตอร์ PID ให้เหมาะสมกับก๊าซกระบวนการและการเรียงซ้อนเวเฟอร์ของคุณ ในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นสูง การตั้งค่าค่าชดเชยเล็กน้อยที่จุดตั้งค่าช่วยชดเชยภาระความร้อนจากบรรยากาศ
วางแผนการบำรุงรักษาเชิงป้องกันทุก 5,000 ชั่วโมงเพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและควบคุมจำนวนอนุภาคให้เป็นศูนย์