На производственном участке 300-мм пластина содержит тысячи кристаллов. Отклонение температуры на 2°C во время сушки фоторезиста может вывести из строя всю партию. Мы разработали наши термосистемы, чтобы этого избежать.
Технически важен контроль, которому можно доверять. Наши модули ближнего инфракрасного (NIR) и средневолнового инфракрасного излучения обеспечивают однородность температуры на уровне пластины в пределах ±0,1°C на всем диапазоне процесса — от мягкой сушки до твердой сушки. Кварцевые и нагревательные элементы с углеродным армированием быстро нарастают по температуре с минимальным превышением, что позволяет сохранять профиль фоторезиста и поддерживать ширину линий в заданных пределах.
Каждое устройство сертифицировано для использования в чистых помещениях классов 1–100, не генерирует частицы и имеет герметичную конструкцию с низким уровнем выделения газов. Это обеспечивает повторяемость, которая удерживает вариации критических размеров ниже установленных норм, и надежность, позволяющую работать 24/7 без плановых простоев.
Причина успешной работы в реальных условиях проста: тепловое поведение должно соответствовать рецептуре процесса, а не заставлять изменять процесс под оборудование. Мы интегрируем модули напрямую в существующие линии нанесения покрытия и сушки, а также в оборудование для продвинутой упаковки, обеспечивая точное поддержание температуры при каждой обработке пластины.
Сужение теплового бюджета. Меньше переделок. Стабильный выход годных изделий.
Потребление энергии снижается, поскольку нагреватели направляют тепло точно в нужные зоны, а время цикла сокращается за счет стабильных скоростей нарастания температуры. Для рынка комплектующих полупроводникового оборудования эти модули являются обновлением, продлевающим срок службы оборудования без необходимости повторной квалификации всей линии.
Вот что нужно учесть при планировании. Установка требует соответствия напряжения, типа разъема и механических габаритов базовой платформе — мы предоставляем чертежи с размерами и распиновку для распространенных OEM-креплений.
Пуско-наладка занимает мало времени, но потребуется настройка PID параметров под конкретный газовый состав процесса и конфигурацию стопки пластин. В условиях высокой влажности небольшое смещение уставки компенсирует тепловую нагрузку окружающей среды.
Планируйте профилактическое обслуживание каждые 5 000 часов для поддержания точной однородности и нулевого уровня частиц.