На производственном участке лежит 300mm пластина, ожидающая мягкого отжига для закрепления профиля фоторезиста. Один горячий участок, одна холодная зона — и контроль ширины линий теряется. Производство останавливается. Мы разработали этот оптический нагреватель для обработки пластин, чтобы такого не происходило.
Что действительно важно с технической точки зрения
Устройство использует кварцевые излучатели коротковолнового инфракрасного спектра (SWIR), которые передают энергию непосредственно в фоторезист и подложку — быстро, напрямую и без лишних сложностей. Вы получаете однородность температуры на уровне пластины с отклонением не более ±0,1°C по активной площади, что позволяет сохранять критические этапы отжига в рамках теплового бюджета. Нагреватель совместим с чистыми помещениями классов от Class 1 до Class 100 и не генерирует частиц во время работы. Повторяемость температуры удерживается на уровне ±0,2°C от партии к партии, а нагреватель работает круглосуточно без незапланированных простоев.
Почему он подходит для нашей работы
Этот нагреватель обеспечивает четыре ключевых температурных режима, которые мы используем: сушка пластины, мягкий и твердый отжиг фоторезиста, отверждение подложек при упаковке (underfill и encapsulate), а также сушка после очистки.
В литографии высокая однородность поддерживает целевые размеры критических элементов (CD) и профиль в допуске, что снижает количество брака и переделок. В упаковке быстрый разгон температуры сокращает окно отверждения без превышения, повышая производительность. И поскольку SWIR нагревает напрямую, а не через камеру, снижается энергопотребление.
Технические детали, которые необходимо знать
Установка сводится к согласованию механических размеров оборудования и контуров охлаждения. Мы предоставляем чертежи интерфейсов и список разъемов для облегчения интеграции.
Срок службы излучателей заявлен на 10,000 часов. После этого выхода мощности могут начать влиять на однородность, если не предусмотрена замена. Планируйте обслуживание заранее — не ждите появления проблемы в цеху.