На этапе литографии процесс выпекания – это не просто пауза в работе оборудования; это важный этап всего процесса. Если температура выпекания изменяется, это сказывается на точности контроля ширины линий на пластине. Если процесс выпекания не происходит однородно, появляются нежелательные примеси и неравномерности на поверхности пластины. Когда тепловой баланс нарушается, лампа должна сохранять стабильность температуры на уровне нескольких десятых градуса в течение многих дней подряд, без появления каких-либо примесей или изменений в характеристиках пластины.
Точность инфракрасного излучения: контроль теплового поля в масштабе субмиллиметров
Мы разработали лампу для контролируемого выпекания на основе коротковолнового инфракрасного излучения. Это позволяет быстро регулировать температуру и обеспечивать однородность теплового поля в масштабе субмиллиметров. В результате фотополимер получает стабильную энергию для обработки, что способствует повторяемости результатов при каждой процедуре обработки.
Система разработана для использования в чистых комнатах класса 1–100. Материалы и узлы системы выбраны так, чтобы минимизировать образование примесей. Именно это и необходимо для правильного функционирования процесса.
Почему это подходит для процесса обработки полупроводников
Здесь не так уж и важна высокая температура – важна повторяемость процесса. Лампа позволяет сохранять стабильные параметры выпекания фотополимера, что снижает количество необходимых корректировок и ошибок, связанных с изменениями температуры. Процесс нагрева происходит быстро, что сокращает время цикла, но при этом не происходит перегрева.
Контролируемая атмосфера предотвращает окисление и изменения влажности, что способствует стабильности характеристик фотополимера. Энергопотребление снижается, поскольку лампа нагревает только нужную область с высокой эффективностью. Долговечность лампы позволяет сократить интервалы её замены. В результате достигается стабильность критических размеров элементов и предсказуемый уровень качества продукции.
Инструкции по установке и эксплуатации
Лампы легко интегрируются в оборудование, но необходимо использовать соответствующие тепловые устройства и системы вентиляции для поддержания контроля над атмосферой. Потребуется некоторое время на настройку параметров лампы в зависимости от типа фотополимера и материала подложки.
Лампа работает наилучшим образом, если давление в камере и поток газа находятся в заданных пределах. Если эти параметры изменяются, однородность теплового поля может снизиться, даже если лампа работает стабильно. Укажите размер пластины, диапазон температур выпекания и класс чистой комнаты, и мы подберем оптимальные параметры для работы лампы.