Керамические крышки-эмиттеры инфракрасного излучения: сокращение времени обработки в процессах глубокой обработки полупроводников
Мы создали эти керамические крышки-эмиттеры по одной простой причине — чтобы заменить систему циркуляции горячего воздуха в процессах глубокой обработки полупроводников и сократить время ожидания.
Вот в чем разница: при использовании горячего воздуха сначала необходимо нагреть сам воздух, а затем ждать, пока тепло достигнет поверхности полупроводника. С помощью инфракрасного излучения энергия попадает непосредственно на поверхность. Это позволяет сократить время выполнения процедур.
Технические характеристики: мощность, напряжение и размеры
Этот эмиттер обладает высокой мощностью — 2500 Вт. Он работает от напряжения 400 В. Длина трубки составляет 300 мм.
Почему 400 В? Это позволяет снизить ток, что делает проводку и контакты более простыми в использовании. Но такая высокая мощность требует надежной электрической схемы.
А длина трубки в 300 мм обеспечивает фокусировку тепла. Таким образом можно достичь необходимой интенсивности нагрева без увеличения размеров устройства.
Материалы и конструкция: галогеновый элемент, покрытие и соединители
Внутри находится галогеновый элемент, расположенный в кварцевой трубке. Он реагирует очень быстро. К трубке присоединена керамическая крышка, которая защищает ее от тепловых ударамов. Эта керамическая крышка также обеспечивает стабильные электрические соединения, даже при частых изменениях температуры.
На трубке также имеется специальное покрытие, которое помогает фокусировать инфракрасное излучение и поддерживать постоянную эмиссивность.
Для подключения используется соединитель типа R7s. Это промышленный стандарт, который делает использование этого устройства простым.
Применение и преимущества: процессы глубокой обработки полупроводников
В процессах глубокой обработки полупроводников время нагрева является одним из факторов, который замедляет работу оборудования. С помощью этого эмиттера можно нагревать пластины и другие поверхности непосредственно. Не нужно сначала нагревать всю комнату. Время запуска устройства минимально. Температура поднимается мгновенно.
Керамическая крышка обеспечивает надежную работу устройства даже в сложных условиях.
Но есть и минус: такая высокая мощность создает большую плотность тепла. Поэтому система охлаждения оборудования должна быть хорошо настроена для справления с повышением температуры.
Преимущества: меньше перебоев в работе, больше времени работы оборудования.