Gdy dochodzi do odchyłek w kontroli temperatury, jakość wyrobu pogarsza się. Czyste płukania pozostawiają za sobą mikrorzęski, a te małe krople stanowią doskonałe warunki dla powstawania defektów. Urządzenia do suszenia mogą pokazywać wymaganą temperaturę na ekranie, ale w praktyce różnice te objawiają się w grubości warstwy polimeru oraz nieczystoścach na jej powierzchni. Rozwiązaniem nie jest proste zwiększenie ilości ciepła – kluczowe jest kontrolowane dostarczanie ciepła.
Co jest ważne w tym procesie? Stworzyliśmy urządzenie do suszenia płytek w zakresie światła bliskiego podczerwonego, używając emiterów o krótkiej długości fali, dostosowanych do właściwości absorpcji krzemienia. Dzięki temu energia może przeniknąć do wnętrza płytki bez uszkadzania jej powierzchni. Czas reakcji urządzenia wynosi mniej niż sekundę, a jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki wynosi ±0,1°C. Urządzenie jest kompatybilne z salami czystymi klasy 1–100, wykorzystuje materiały o niskiej emisji gazów, a także system przepływu gazów, który zapewnia brak tworzenia się cząstek. Powtarzalność procesu jest gwarantowana dzięki kalibrowanym czujnikom i systemowi kontroli zamkniętego obwodu, dzięki czemu każda procedura suszenia odbywa się przy tej samej temperaturze.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w praktyce? W procesie litografii urządzenie to umożliwia stosowanie odpowiednich parametrów suszenia, co zapewnia lepszą jakość warstwy polimeru i utrzymuje jednolitość jej struktury. Podczas czyszczenia i suszenia urządzenie usuwa ostatnie ślady wilgoci bez pozostawiania żadnych śladów, co redukuje liczbę koniecznych poprawek i odpadów. W procesie pakowania urządzenie zapewnia szybkie i stabilne utwardzanie materiału, co skraca czas cyklu. Zużycie energii jest mniejsze, ponieważ ciepło jest dostarczane na żądanie, a nie akumulowane w specjalnej masie grzewczej. Niezawodność urządzenia została potwierdzona w praktyce: urządzenia pracują 24/7 bez żadnych przerw, a okresy konserwacji wynoszą tysiące godzin.
Praktyczne aspekty Urządzenie to może być zintegrowane z istniejącymi urządzeniami, ale należy zachować czystość i prawidłową orientację optycznego pathu. Należy też zadbać o odpowiednią przestrzeń wokół okna emitera, a także upewnić się, że widmo emisji odpowiada charakterystyczkom używanego polimeru – niektóre polimery absorbują światło w inny sposób w zakresie bliskiego podczerwonego. Przy zmianie rodzaju polimeru konieczna jest drobna regulacja parametrów urządzenia, a nowe wartości należy udokumentować. Gdy wszystko będzie dostosowane, proces będzie przebiegał sprawnie.