Stop met tijd verspillen: waarom IR-verwarming eigenlijk werkt
Als je met diepe verwerkingsprocessen voor semi-conductoren werkt, ken je vast de frustratie van het moeten wachten.
Lang hebben we ons verlaten op convectie door geblazen lucht. Maar hier is het probleem: je kunt geen hete lucht in een vacuümwolk blazen. Er is geen lucht – het is gewoon leeg. Het proberen om convectie te gebruiken in een vacuümkamer leidt nergens toe. Daarom gebruiken we IR-verwarming.
Het wachten is voorbij.
Denk eens na over hoe luchtbasierte systemen werken. Eerst moet de lucht worden opgewarmd, en pas daarna kan deze de chip opwarmen. Dat is langzaam. Het zorgt voor vertragingen die je productiviteit belemmeren en tot grote problemen leiden.
IR-verwarmers negeren dit allemaal. Ze sturen fotonen rechtstreeks naar het te verwarmen object. Geen tussenliggende lagen, geen wachten. Je bereikt de gewenste temperatuur in seconden in plaats van minuten. Als je de hele dag door batches verwerkt, leveren deze bespaarde minuten een grote verbetering op in de productiviteit.
Maar je kunt niet zomaar een willekeurige verwarmer in een vacuüm gebruiken.
De meeste standaardverwarmers ‘stoten gassen uit’. Ze laten vluchtige stoffen ontsnappen die op de chip terechtkomen en alles kunnen beschadigen. Dat is een nachtmerrie. Om dit te voorkomen, gebruiken we draden van hoge zuiverheid en gespecialiseerde kwartsomhullingen. We zijn ook zeer nauwgezet als het gaat om de afdichtingen. Als de verbindingen niet vakuumbestendig zijn, is de integriteit van de kamer verloren.
Er is echter één nadeel: IR- warmte is intensief. Terwijl dit goed is voor de snelheid, oefent het veel druk uit op het koelsysteem. Als de timing van het sluiten van de deur niet correct is of als de stroomregeling niet goed werkt, kun je de gewenste temperatuur te snel bereiken.
Je hebt een goede PID-regeling nodig, plus een koelsysteem dat de hitte aankan. Als je geen thermische isolatie gebruikt, begint de hitte zich naar de wanden van de kamer te verspreiden. Hierdoor kunnen de onderdelen vervormen.
Uiteindelijk gaat het erom slim om te gaan met energie. Probeer niet de lege ruimte rondom het onderdeel op te warmen, maar verwarm alleen het onderdeel zelf.