Op de productievloer draagt een 300mm wafer duizenden die. Een temperatuurschommeling van 2°C tijdens het photoresist-bakken kan een hele batch onbruikbaar maken. Onze thermische systemen zijn ontworpen om dit te voorkomen.
Wat technisch telt, is controle waarop u kunt vertrouwen. Onze NIR- en medium-wave infraroodmodules handhaven wafer-niveau uniformiteit binnen ±0,1°C over het volledige procesvenster, van soft bake tot hard bake. Quartz- en koolstofvezelversterkte verwarmingselementen stijgen snel in temperatuur met minimale overshoot, zodat u het photoresist-profiel beschermt en de lijnbreedtes binnen specificatie houdt.
Elke unit is geschikt voor Class 1–100 cleanroomgebruik, met nul deeltjesgeneratie en een gesloten constructie met lage uitstoot. Het resultaat is herhaalbaarheid die kritische dimensievariatie onder specificatie houdt en betrouwbaarheid die 24/7 draait zonder ongeplande stilstand.
Waarom het werkt in echte productiecellen is eenvoudig: het thermisch gedrag moet overeenkomen met het recept, niet dat u het recept moet aanpassen aan het gereedschap. We integreren direct in bestaande coater/bake-lijnen en geavanceerde verpakkingsapparatuur, en leveren nauwkeurige temperatuurregeling bij elke waferpassage.
Strakkere thermische budgetten. Minder herbewerkingen. Stabiele opbrengst.
Het energieverbruik daalt omdat de verwarmingselementen warmte precies daar brengen waar die nodig is, en de cyclustijden worden korter dankzij consistente opwarmcurves. Voor de markt van halfgeleiderapparatuur zijn deze modules een upgrade die de levensduur van apparatuur verlengt zonder de hele lijn opnieuw te kwalificeren.
Hier zijn de zaken waar u rekening mee moet houden. Installatie betekent het afstemmen van spanning, type connector en mechanisch formaat op het hostplatform — we leveren maattekeningen en pinouts voor gangbare OEM-voetafdrukken.
Inbedrijfstelling is kort, maar u stemt de PID-parameters af op uw specifieke procesgas en waferstapel. In omgevingen met hoge luchtvochtigheid compenseert een kleine setpoint-correctie de omgevingswarmtelast.
Plan preventief onderhoud elke 5.000 uur om uniformiteit strak te houden en het aantal deeltjes op nul.