Meningkatkan Kinerja Pemanas di Kilang Pembuatan Semikonduktor
Jika anda bekerja dalam proses pemrosesan wafer atau CVD, anda pasti tahu bahawa lampu pemanas merupakan komponen penting dalam operasi tersebut. Namun, di kilang pembuatan semikonduktor yang moden, kita tidak boleh menggunakan elemen pemanas yang tidak cekap. Kita memerlukan sumber haba yang mampu berkomunikasi dengan sistem kawalan digital. Kita perlu mengetahui apa yang berlaku secara masa nyata, bukannya hanya membuat tekaan.
Kelebihan Lampu Pemanas jenis UHP
Tujuan utama pembuatan lampu ini adalah untuk menghasilkan haba tepat di tempat yang diperlukan, tanpa meninggalkan bahan sisa pada permukaan substrat. Itulah sebabnya kami menggunakan kuarsa sintetik berkualiti tinggi. Bahan ini dapat menghalang pelepasan gas panas. Dalam bilik bersih, ini merupakan syarat asas yang perlu dipenuhi.
Jika anda bekerja dengan wafer berukuran 300mm, anda pasti memerlukan intensiti haba yang tinggi. Kami menggunakan gelombang inframerah pendek (SWIR) kerana ia dapat menembusi bahan dengan cepat. Ini dapat mengurangkan masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer, sekaligus mempercepatkan proses produksi.
Berhenti Meramal, Mulailah Memantau
Industri 4.0 merupakan istilah yang digunakan untuk menggambarkan penggunaan data untuk memudahkan proses kerja. Kami menyambungkan lampu pemanas ini ke sistem kawalan PLC, agar kita dapat memantau voltan dan penggunaan tenaga. Ini sangat membantu. Daripada menukar lampu mengikut jadual tertentu—yang biasanya membuang masa atau menjadi risiko—anda boleh mengetahui bila lampu tersebut mulai rosak. Anda boleh menukar lampu tersebut sebelum ia benar-benar rosak. Penggantian prediktif.
Selain itu, anda juga boleh memantau penyebaran haba pada permukaan wafer secara masa nyata. Ini dapat mengurangkan sisa bahan yang tidak berguna dan masalah lain yang mungkin timbul.
Kelemahan yang Perlu Anda Ketahui
Sebenarnya, lampu UHP yang berkuasa tinggi menghasilkan haba yang banyak, tetapi ia memerlukan tenaga yang banyak untuk berfungsi. Pastikan kabel yang digunakan mampu menanggung arus yang tinggi. Jika tidak, voltan akan turun, dan ini akan mempengaruhi hasil kerja anda. Jangan lupa tentang sistem penyejukan. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, suhu proses akan naik.
Kami merancang lampu ini agar dapat digunakan sebagai pengganti alat-alat yang sudah ada. Pastikan panjang gelombangnya sesuai, dan kualiti kuarsanya memenuhi standard yang ditetapkan. Jika kedua-dua perkara ini dipenuhi, maka sistem digital akan menguruskan selebihnya.