시간 낭비를 멈추세요: 왜 진공 적외선 가열이 효과적인지
반도체 처리를 할 때는 기다리는 시간이 얼마나 짜증나는지 잘 알고 있을 것입니다.
오랫동안 우리는 강제 대류 방식에 의존해 왔습니다. 하지만 문제는 진공 상태에서는 뜨거운 공기를 불어넣을 수 없다는 점입니다. 공기가 전혀 없으니까요. 그래서 진공 챔버에서 대류 방식을 사용하는 것은 무의미합니다. 바로 이 때문에 우리는 적외선 가열 방식을 사용하게 되었습니다.
이제 더 이상 기다릴 필요가 없습니다.
공기 기반의 가열 방식을 생각해보세요. 먼저 공기를 가열해야 하고, 그 다음에 그 공기가 웨이퍼를 가열해야 합니다. 이 방식은 매우 느리며, 생산성을 저하시키고 작업에 큰 장애가 됩니다.
적외선 가열기는 이러한 과정을 모두 생략합니다. 광자를 직접 작업물에 조사하기 때문입니다. 중간 단계가 없으며, 기다릴 필요도 없습니다. 몇 분이 아닌 몇 초 만에 목표 온도에 도달할 수 있습니다. 하루 종일 연속으로 작업할 경우, 절약된 시간은 엄청난 생산량으로 이어집니다.
하지만 그냥 아무 가열기라도 진공 상태에 넣을 수는 없습니다.
대부분의 일반적인 가열기들은 유기물을 배출합니다. 이러한 유기물들이 웨이퍼에 닿으면 모든 것이 망가질 수 있습니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 이를 막기 위해 우리는 고순도의 필라멘트와 특수한 석영 소재를 사용합니다. 또한 밀폐성도 매우 중요합니다. 만약 연결 부위가 진공 환경에 적합하지 않다면, 챔버의 밀폐성이 떨어집니다.
물론 한 가지 단점이 있습니다. 적외선 열은 매우 강력합니다. 이는 속도 면에서는 좋지만, 냉각 시스템에 큰 부담을 줍니다. 만약 셔터 타이밍이 잘못되거나 전력 조절이 제대로 이루어지지 않으면, 예상치 못하게 온도가 상승할 수 있습니다.
따라서 효과적인 PID 제어 장치와 열을 견딜 수 있는 냉각 장치가 필요합니다. 열 차단 장치를 생략하면, 열이 챔버 벽으로 전달되어 결국 장비가 변형될 수 있습니다.
결국, 에너지를 현명하게 사용하는 것이 중요합니다. 부품 주변의 빈 공간을 가열하려고 하지 말고, 직접 부품 자체를 가열하는 것이 좋습니다.