열전대가 웨이퍼를 망가뜨리게 두지 마세요.
반도체 히터에 내장된 열전대가 고장나면, 그건 단순한 “센서의 문제”가 아닙니다. 보통은 심각한 문제입니다.
만약 절연체가 손상된다면, 전류가 웨이퍼로 유입될 수 있으며, 더 심각한 경우에는 PID 컨트롤러까지 손상될 수 있습니다. 정말 엉망이 됩니다. 우리는 이러한 상황을 견딜 수 있는 프로브를 만들지만, 그냥 최선을 바랄 뿐만은 아닙니다. 제품을 공장 밖으로 나보내기 전에 반드시 고전압 테스트와 절연 저항 테스트를 거칩니다.
왜 모든 제품을 테스트하는가?
많은 업체들은 샘플만 테스트합니다. 10개나 20개 중 하나만 확인하고 나머지는 괜찮다고 생각합니다. 우리는 그렇게 하지 않습니다.
모든 리드와 접점에 대해 전압 스트레스 테스트를 진행합니다. 사실상 절연체의 한계를 시험해보는 것입니다. 세라믹 내부에 있는 작고 보이지 않는 틈이나 구멍들을 찾아내기 위해 절연체를 극한까지 압박합니다.
프로브가 우리의 테스트 장비에서 고장나는 것이, 진공 챔버 안에서 고장나는 것보다 낫습니다. 믿어주세요.
장치 내의 “유령 신호”를 막아야 합니다.
반도체 히터는 좁은 공간에 들어 있습니다. 그런 환경에서는 절연체에 조금이라도 문제가 생기면 신호가 왜곡될 수 있습니다. 결국 실제로는 존재하지 않는 “유령 신호”가 나타납니다.
절연 저항을 측정함으로써, 전류가 정확한 위치에 머물도록 할 수 있습니다. 그렇게 하면 센서가 실수로 접지 경로가 되는 것을 방지할 수 있습니다.
알아야 할 타협점
이런 수준의 전기적 안전성을 확보하기 위해서는 고밀도의 광물 절연체와 고품질의 세라믹 비드를 사용해야 합니다.
이로 인해 프로브가 더 단단해집니다. 저렴하고 얇은 벽의 프로브처럼 쉽게 구부릴 수는 없습니다. 만약 강제로 구부리려고 하면 내부 절연체가 깨질 위험이 있습니다. 따라서 마운팅 브래킷을 잘 조절하여 접점에 기계적 스트레스가 가지 않도록 해야 합니다.
실제 현장에서의 경험
많은 프로브들은 멀티미터로 보면 완벽해 보이지만, 실제로 전압이 가해지자마자 고장납니다. 그래서 우리는 전용 고전압 테스터를 사용합니다.
절연체가 전압 스파이크에도 불구하고 누출되지 않는지 확인합니다. 이것이야말로 장비를 안전하게 유지하고 다운타임을 줄일 수 있는 유일한 방법입니다.