웨이퍼가 가열되기를 기다리며 시간을 낭비하는 것은 그만두세요.
만약 여전히 핫에어를 사용하여 웨이퍼를 가열하고 있다면, 사실상 시간과 싸우는 것과 같습니다. 핫에어는 속도가 매우 느립니다. 웨이퍼가 무언가 변화가 있다는 것을 알아차리기 전에, 우선 챔버 전체와 그 안의 공기가 모두 가열되어야 합니다. 이러한 지연 때문에 작업 시간이 크게 낭비됩니다.
인파란트 가열 방식을 사용하면 상황이 완전히 달라집니다. 공기가 따뜻해지기를 기다리는 대신, 인파란트는 에너지를 직선으로 전달합니다. 그래서 에너지가 웨이퍼 표면에 직접 닿습니다. 차이는 엄청납니다. 핫에어 방식으로는 안정된 온도에 도달하는 데 몇 분이 걸릴 수 있지만, 인파란트 방식에서는 몇 초 만에 목표 온도에 도달할 수 있습니다.
대량 처리를 할 때, 이렇게 절약된 시간들은 결코 사소한 이익이 아닙니다. 매 교대 근무마다 몇 시간씩 추가적인 생산량을 얻을 수 있습니다.
게다가 장비의 크기도 고려해야 합니다. 핫에어 시스템은 복잡하고 부피가 큽니다. 열이 새어나가지 않도록 하려면 거대한 블로워와 덕트, 그리고 단열 처리된 상자가 필요합니다. 반면 인파란트 램프는 훨씬 작습니다. 웨이퍼 바로 옆에 설치할 수 있으며, 이를 통해 빠르게 온도를 조절할 수 있습니다.
하지만 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 그냥 히터를 교체한다고 해서 문제가 해결되는 것은 아닙니다. 인파란트는 매우 강력한 에너지를 발생시키므로, 램프의 배열이 제대로 되어 있지 않거나 웨이퍼의 두께가 적절하지 않으면 과열 현상이 발생할 수 있습니다. 따라서 PID 컨트롤러를 조정하여 온도를 정확하게 조절해야 합니다. 그렇지 않으면 온도가 너무 높아져 웨이퍼가 손상될 수 있습니다.
그럼에도 불구하고, 대부분의 경우 이러한 위험을 감수하더라도 인파란트 방식을 사용하는 것이 좋습니다. 중요한 것은 웨이퍼를 가능한 한 빠르게 목표 온도까지 가열하여 처리하는 것입니다.