MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

放射熱を利用してMEMSウェーハを適切に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり微妙な作業です。水分を取り除くためには十分な熱が必要ですが、過度に熱を加えてしまうと、微細で繊細な微細構造が壊れてしまいます。 そのため、私たちは金メッキされた反射材を使用します。聞こえは良い...