赤外線ランプ用アルミニウム反射板
ランプの破損によるウェーハの損傷を防ごう 高負荷な半導体製造環境では、ランプが壊れるというのは単なる迷惑事以上の問題です。それはまさに悪夢です。
シリコンウェーハの真上で石英管が破裂するとどうなるでしょうか?ランプが壊れるだけでなく、ガラスの破片や金属の破片が製品に降り注ぎます。一度破裂すれば、そ...
IRエミッタ用のセラミックエンドキャップ
セラミック製エンドキャップ式IRエミッター:半導体の深層加工における時間コストの削減
私たちがこのセラミック製エンドキャップ式IRエミッターを開発したのは、半導体の深層加工における熱風循環の代わりとして、待機時間を大幅に短縮するためです。
熱風を使う場合、まず空気を加熱し、その熱が基板に届くのを待...