熱電対がウェーハを破壊してしまわないようにしましょう。
半導体ヒーター内の熱電対が故障すると、それは単なる「センサーの問題」というだけではありません。通常は深刻な問題です。
もし絶縁体が破損してしまうと、ウェーハに電流が流れ込んでしまったり、最悪の場合はPIDコントローラーが破壊されてしまったりします。本当に厄介な状況です。私たちは、こうした状況に耐えられるようにプローブを製造していますが、単に最善を願っているだけではありません。出荷する前に、すべてのユニットに対してヒップテストや絶縁抵抗テストを行っています。
なぜすべてのプローブをテストするのか
多くの工場では、抽出検査しか行いません。10個や20個に1つだけをチェックし、残りは問題ないと思い込んでいます。しかし、私たちはそうしません。
すべてのリードや接続部に対して電圧ストレステストを行います。つまり、意図的に絶縁体の限界を試しているのです。そうすることで、セラミック内の微細な欠陥や穴を見つけ出すのです。
プローブが私たちのテスト装置内で故障する方が、真空チャンバー内で故障するよりも良いのです。信じてください。
機械内の「ゴースト信号」を防ぐ
半導体ヒーターは狭い空間に配置されています。そんな状況では、絶縁体にわずかな破損があっただけでも、信号が乱れてしまいます。実際には存在しない「ゴースト信号」が現れるのです。
絶縁抵抗を測定することで、電流が正しい場所に留まるようにします。これにより、センサーが誤って接地経路になるのを防ぎます。
知っておくべきトレードオフ
このレベルの電気的安全性を確保するために、高密度の鉱物系絶縁体や高品質なセラミックビーズを使用しています。
その結果、プローブは硬くなってしまいます。安価で薄壁のプローブのように簡単に曲げることはできません。無理に曲げようとすると、内部の絶縁体が割れてしまう危険があります。必ず、取り付けブラケットを適切に調整し、接続部に機械的な負荷がかからないようにしてください。
実際の現場での経験
マルチメーター上では完璧に見えるプローブでも、実際に電圧がかかるとすぐに故障してしまうことがあります。だからこそ、専用のヒップテスターを使用するのです。
絶縁体が電圧の急変に耐えられ、漏れ電流が発生しないかを確認します。これが、装置を安全に保ち、停止時間を減らす唯一の方法です。