Menghentikan hambatan dalam proses pengeringan wafer: IR vs. Udara Panas
Jika Anda pernah berada di pabrik semikonduktor, Anda pasti tahu bahwa proses pencucian wafer merupakan tahap yang membutuhkan waktu lama. Proses pengeringan wafer juga sangat merepotkan.
Sebagian besar pabrik masih menggunakan udara panas untuk mengeringkan wafer. Namun, masalahnya adalah kita harus memanaskan seluruh udara di ruangan tersebut hanya untuk menghilangkan sedikit kelembapan pada permukaan wafer. Proses ini membutuhkan waktu yang lama, dan sangat merepotkan.
Keterlambatan waktu merupakan masalah utama.
Udara panas bekerja melalui mekanisme konveksi, yang sebenarnya berarti “menunggu agar panas menyebar”. Di pabrik yang memiliki kapasitas produksi tinggi, keterlambatan waktu ini berarti pemborosan uang.
Lampu inframerah (IR) memiliki cara kerja yang berbeda. Lampu ini tidak perlu menggunakan udara sebagai media untuk mengeringkan wafer. Energi dari lampu IR langsung ditujukan ke molekul-molekul air pada permukaan wafer. Cara ini lebih cepat.
Namun, Anda tidak bisa sembarangan menggunakan lampu apa saja. Karena proses pencucian wafer melibatkan cairan dan kelembapan yang tinggi, maka lampu yang digunakan haruslah tahan air, dengan lapisan khusus yang mampu mencegah masuknya kelembapan ke dalam lampu.
Tapi, ini bukanlah solusi yang sempurna.
Lampu IR memang dapat mengeringkan wafer dengan cepat, tetapi Anda harus berhati-hati. Intensitas cahaya IR yang tinggi dapat menyebabkan panas lokal di permukaan wafer. Jika posisi lampu tidak tepat atau dayanya terlalu tinggi, wafer bisa rusak. Anda tidak bisa sekadar mengganti alat peniup udara dengan lampu IR saja. Anda perlu menyesuaikan jarak dan intensitas cahaya agar wafer tidak rusak.
Aplikasi di lapangan
Banyak perusahaan beralih menggunakan lampu IR saat mereka melakukan pembaruan fasilitas produksinya. Hal ini dilakukan karena lampu IR dapat menghemat banyak ruang. Anda tidak perlu lagi menggunakan alat peniup udara yang berukuran besar serta saluran udara yang rumit.
Anda hanya perlu menghubungkan lampu tersebut ke sistem kabel, menyetel timer-nya, dan proses pengeringan wafer akan menjadi lebih cepat. Namun, pastikan sistem pendinginan Anda mampu menangani panas yang dihasilkan oleh lampu tersebut. Jika tidak, ruangan produksi Anda akan menjadi sangat panas, seperti di sauna.