Mengurangi Emisi Karbon di Proses Manufaktur Semikonduktor dengan Gelombang Inframerah Pendek
Jika kita benar-benar ingin mencapai keadaan netral karbon dalam proses manufaktur semikonduktor, kita harus berhenti memanaskan segala sesuatu hanya untuk menghangatkan satu komponen saja. Pemanasan konvensional merupakan cara yang sia-sia. Seperti halnya upaya untuk menghangatkan sepotong pizza dengan memanaskan seluruh ruangan di rumah.
Di sinilah peran gelombang inframerah pendek (SWIR) muncul. Alih-alih memanaskan udara, kita menggunakan energi radiasi yang ditujukan secara spesifik ke komponen yang perlu dipanaskan. Ini merupakan cara yang jauh lebih efisien.
Mengapa Fisika Sangat Penting
Yang penting dari SWIR adalah bahwa energi dikirim melalui radiasi elektromagnetik. Dengan demikian, tidak ada pemborosan energi saat memanaskan bodi alat atau udara di sekitarnya. Energi langsung ditransfer ke wafer yang akan diproses.
Dengan menggunakan rentang panjang gelombang 0,7 hingga 2,5 μm, kita dapat menghilangkan keterlambatan pemanasan. Waktu yang diperlukan untuk memanaskan wafer pun berkurang drastis. Karena alat tersebut tidak perlu berada pada suhu tinggi untuk waktu yang lama, penggunaan energi per wafer juga berkurang signifikan.
Komponen dan Kompromi yang Harus Diterima
Untuk mendapatkan fluks panas yang diperlukan, kita menggunakan lampu kuarsa berdaya tinggi. Lampu-lampu ini bukanlah lampu biasa. Kita menggunakan tabung yang berisi halogen agar filamen tidak meleleh akibat suhu ekstrem.
Kita juga menggunakan kontroler presisi agar suhu yang dihasilkan tetap tepat. Namun, ada tantangan tersendiri. Ketika kita memberikan daya lebih dari 2 kW ke ruang kecil, suhu akan naik dengan cepat. Sistem pendinginan harus bekerja dengan sempurna. Jika sistem pendinginan gagal menyerap panas yang terjadi, komponen-elemen elektronik akan rusak. Ini merupakan keseimbangan yang harus dicapai.
Menciptakan “Pabrik Hijau” yang Sebenarnya
Hal yang paling baik adalah dengan beralih dari pemanas resistif tradisional ke sistem IR. Dengan begitu, energi bisa digunakan secara efektif, tanpa pemborosan energi selama proses pemanasan.
Kami merancang sistem ini agar dapat digunakan sebagai pengganti langsung dari pemanas konvensional. Anda tidak perlu merobohkan lantai atau membeli infrastruktur baru; sistem ini bisa dipasang di tempat yang sudah ada.
Mengurangi jejak karbon bukanlah soal menemukan satu komponen ajaib. Yang penting adalah menghentikan pemborosan energi saat alat-alat tersebut tidak digunakan. Dengan SWIR, energi hanya digunakan saat proses pemrosesan sedang berlangsung. Sangat sederhana.